箔片轴承固体润滑用类金刚石薄膜的设计、制备和性能研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-26页 |
| ·课题来源、目的和意义 | 第8-9页 |
| ·箔片气体轴承概述 | 第9-16页 |
| ·箔片气体轴承结构特点与工作原理 | 第9-11页 |
| ·箔片气体轴承发展与应用 | 第11-13页 |
| ·箔片气体轴承表面镀层技术发展概况 | 第13-16页 |
| ·DLC薄膜概述 | 第16-24页 |
| ·DLC薄膜的结构 | 第16-18页 |
| ·DLC薄膜机械性能及其应用 | 第18-19页 |
| ·DLC薄膜的制备方法 | 第19-22页 |
| ·DLC薄膜的摩擦学机理 | 第22-24页 |
| ·DLC薄膜存在的问题 | 第24页 |
| ·本文主要研究内容 | 第24-26页 |
| 第二章 研究方法 | 第26-36页 |
| ·研究思路 | 第26页 |
| ·DLC薄膜材料设计方法 | 第26-27页 |
| ·DLC薄膜制备方法 | 第27-28页 |
| ·DLC薄膜表征方法 | 第28-35页 |
| ·拉曼光谱分析方法 | 第28-33页 |
| ·薄膜表面形貌与断面形貌观察 | 第33页 |
| ·结合强度分析方法 | 第33-34页 |
| ·摩擦磨损性能分析方法 | 第34页 |
| ·内应力分析方法 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 DLC薄膜样件的制备及性能研究 | 第36-54页 |
| ·样品制备 | 第36-37页 |
| ·镀膜基材 | 第36页 |
| ·基材预处理 | 第36页 |
| ·磁控溅射沉积工艺 | 第36-37页 |
| ·样品表征与性能比较 | 第37-52页 |
| ·表面形貌分析比较 | 第37-38页 |
| ·断面形貌分析比较 | 第38-40页 |
| ·拉曼光谱分析比较 | 第40-41页 |
| ·薄膜内应力分析比较 | 第41-42页 |
| ·结合强度分析比较 | 第42-44页 |
| ·摩擦磨损性能分析比较 | 第44-52页 |
| ·综合性能分析与比较 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第四章 DLC薄膜摩擦副配对实验研究 | 第54-65页 |
| ·实验设计 | 第54页 |
| ·结果与讨论 | 第54-63页 |
| ·镀膜钢/未镀膜铍青铜对摩摩擦学行为分析 | 第54-56页 |
| ·未镀膜钢/镀膜铍青铜对摩摩擦学行为分析 | 第56-57页 |
| ·镀膜钢/镀膜铍青铜对摩摩擦学行为分析 | 第57-63页 |
| ·三种摩擦副配对比较 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 DLC/DLC对偶台架实验研究 | 第65-75页 |
| ·箔片轴承台架装置 | 第65-67页 |
| ·台架装置总体结构 | 第65-66页 |
| ·箔片轴承结构 | 第66页 |
| ·测试系统 | 第66-67页 |
| ·测试过程 | 第67页 |
| ·台架测试结果 | 第67-69页 |
| ·分析与讨论 | 第69-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 结论与展望 | 第75-77页 |
| ·结论 | 第75-76页 |
| ·今后工作展望 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第84页 |
