| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 综述 | 第10-21页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·高频软磁薄膜材料 | 第11-14页 |
| ·晶粒尺寸对软磁材料性能的影响 | 第14-15页 |
| ·磁性材料的磁谱和磁损耗机制 | 第15-19页 |
| ·本论文研究的内容 | 第19页 |
| 参考文献 | 第19-21页 |
| 第2章 薄膜的制备及性能测试 | 第21-31页 |
| ·薄膜的制备 | 第21-24页 |
| ·薄膜的测试 | 第24-30页 |
| 参考文献 | 第30-31页 |
| 第3章 Co-Zr薄膜软磁性能的优化以及共振频率的调控 | 第31-42页 |
| ·Co-Zr薄膜的制备 | 第32-33页 |
| ·氩气流量对薄膜磁性的影响 | 第33-35页 |
| ·Zr掺杂对薄膜磁性的影响 | 第35-38页 |
| ·溅射角对薄膜磁性的影响 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40页 |
| 参考文献 | 第40-42页 |
| 第4章 Co-Nb-Nd薄膜阻尼因子的调控 | 第42-55页 |
| ·Co-Nb-Nd/Pr薄膜的制备 | 第42-43页 |
| ·衬底层Ta对Co-Nb-Pr材料磁性的影响 | 第43-45页 |
| ·溅射角对Co-Nb-Nd材料性质的影响 | 第45-48页 |
| ·稀土含量对Co-Nb-Nd材料性质的影响 | 第48-53页 |
| ·本章小结 | 第53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 第5章 总结与展望 | 第55-57页 |
| ·总结 | 第55-56页 |
| ·展望 | 第56-57页 |
| 附录 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |