| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 纳米定位与扫描平台的国内外发展现状 | 第12-13页 |
| 1.3 纳米定位与扫描平台控制技术的发展现状 | 第13-14页 |
| 1.4 本文主要研究的内容以及结构安排 | 第14-17页 |
| 第二章 纳米定位与扫描平台的模型建立 | 第17-27页 |
| 2.1 纳米定位与扫描平台的结构及特性 | 第17-20页 |
| 2.1.1 纳米定位与扫描平台的基本组成 | 第17-19页 |
| 2.1.2 纳米定位与扫描平台的特性 | 第19-20页 |
| 2.2 纳米定位与扫描平台的建模方法 | 第20-21页 |
| 2.2.1 机理分析法数学建模 | 第20-21页 |
| 2.2.2 测试法数学建模 | 第21页 |
| 2.2.3 机理分析和测试法相结合的建模 | 第21页 |
| 2.3 纳米定位与扫描平台的模型建立 | 第21-25页 |
| 2.3.1 Bouc-Wen模型简介 | 第22页 |
| 2.3.2 纳米定位与扫描平台的模型建立 | 第22-24页 |
| 2.3.3 Bouc-Wen模型中各参数的主要特性 | 第24页 |
| 2.3.4 纳米定位与扫描平台模型的非对称改进 | 第24-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 纳米定位与扫描平台模型参数辨识 | 第27-39页 |
| 3.1 引言 | 第27-30页 |
| 3.1.1 辨识简介 | 第27页 |
| 3.1.2 辨识原理 | 第27-28页 |
| 3.1.3 模型辨识误差准则 | 第28-29页 |
| 3.1.4 模型辨识的主要步骤 | 第29-30页 |
| 3.2 最小二乘法的基本原理 | 第30-32页 |
| 3.3 纳米定位与扫描平台模型参数辨识 | 第32-34页 |
| 3.3.1 模型参数辨识方法简介 | 第32-33页 |
| 3.3.2 纳米定位与扫描平台模型参数辨识 | 第33-34页 |
| 3.4 模型参数对纳米定位与扫描平台模型的影响 | 第34-37页 |
| 3.5 本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 纳米定位与扫描平台控制方法的研究 | 第39-55页 |
| 4.1 纳米定位与扫描平台的控制方法 | 第39-40页 |
| 4.1.1 开环控制 | 第39-40页 |
| 4.1.2 闭环控制 | 第40页 |
| 4.2 常用的PID控制系统 | 第40页 |
| 4.3 PID控制算法的研究 | 第40-48页 |
| 4.3.1 PID控制算法原理 | 第41-43页 |
| 4.3.2 数字PID控制算法研究 | 第43-44页 |
| 4.3.3 PID控制算法的优化 | 第44-47页 |
| 4.3.4 PID控制器参数的整定 | 第47-48页 |
| 4.4 纳米定位与扫描平台PID控制系统仿真 | 第48-49页 |
| 4.5 纳米定位与扫描平台的迟滞补偿和PI反馈的复合控制 | 第49-53页 |
| 4.5.1 纳米定位与扫描平台的迟滞前馈补偿控制 | 第50-51页 |
| 4.5.2 PI控制 | 第51-52页 |
| 4.5.3 纳米定位与扫描平台的复合控制 | 第52-53页 |
| 4.6 本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 实验结果与数据分析 | 第55-65页 |
| 5.1 纳米定位与扫描平台控制算法仿真 | 第55-61页 |
| 5.2 纳米定位与扫描平台Bouc-Wen模型实验仿真 | 第61-64页 |
| 5.3 本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 结论 | 第65-67页 |
| 6.1 论文结论 | 第65-66页 |
| 6.2 后期展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 作者简介 | 第71页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
