相变存储器中超声楔形键合工艺的研究

摘要	第4-5页
Abstract	第5-6页
1 绪论	第9-20页
1.1 引言	第9-10页
1.2 相变存储器简介	第10-11页
1.3 引线键合技术简介	第11-15页
1.4 国内外引线键合技术研究概况	第15-18页
1.5 本文的主要研究工作及内容安排	第18-20页
2 键合质量评价标准及测试系统介绍	第20-29页
2.1 键合质量评价标准	第20页
2.2 键合质量检测方法	第20-23页
2.3 键合表面物质组成探究	第23-28页
2.4 本章小结	第28-29页
3 键合界面物质构成及其形成机制	第29-41页
3.1 样品制备	第29-30页
3.2 键合功率和键合时间对键合点成型的影响	第30-37页
3.3 键合点物质组成及分析	第37-40页
3.4 本章小结	第40-41页
4 超声楔形键合的破坏性拉断力测试	第41-56页
4.1 破坏性拉断力测试方案	第41-43页
4.2 不同电极材料的破坏性拉断力测试	第43-51页
4.3 破坏性拉断力的影响因素分析	第51-55页
4.4 本章小结	第55-56页
5 总结与展望	第56-58页
5.1 总结	第56-57页
5.2 展望	第57-58页
致谢	第58-59页
参考文献	第59-63页