| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 前言 | 第8页 |
| 1.2 PZT薄膜的性能与应用 | 第8-12页 |
| 1.3 PZT薄膜导电机理的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3.1 肖特基发射模型(ES) | 第12-13页 |
| 1.3.2 普尔法兰克导电模型(PF) | 第13页 |
| 1.3.3 空间电荷限制电流模型(SCLC) | 第13-14页 |
| 1.4 本课题的研究意义与主要内容 | 第14-15页 |
| 1.5 本章小结 | 第15-16页 |
| 第二章 PZT薄膜的制备方法与性能研究 | 第16-24页 |
| 2.1 薄膜制备技术的发展 | 第16页 |
| 2.2 薄膜的制备方法 | 第16-18页 |
| 2.3 用溶胶-凝胶法制备PZT薄膜 | 第18-21页 |
| 2.3.1 实验设备与原材料 | 第18-19页 |
| 2.3.2 实验流程 | 第19-20页 |
| 2.3.3 顶电极制备 | 第20-21页 |
| 2.4 薄膜性能的分析方法 | 第21-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-24页 |
| 第三章 退火工艺对PZT薄膜的影响 | 第24-32页 |
| 3.1 退火温度对PZT薄膜的影响 | 第24-25页 |
| 3.2 改进的退火方式对PZT薄膜的影响 | 第25-28页 |
| 3.2.1 不同初始退火温度对PZT薄膜的影响 | 第25-26页 |
| 3.2.2 PtxPb中间相对PZT薄膜择优取向的影响 | 第26-28页 |
| 3.3 铁电性能测试 | 第28页 |
| 3.4 介电性能测试 | 第28-29页 |
| 3.5 本章小结 | 第29-32页 |
| 第四章 PZT薄膜的极化开关电流特性研究 | 第32-44页 |
| 4.1 PZT薄膜的择优取向对极化开关电流的影响 | 第32-37页 |
| 4.2 极化温度对极化开关电流的影响 | 第37-38页 |
| 4.3 极化开关电流导电机理研究 | 第38-42页 |
| 4.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 第五章 PZT薄膜的非线性Ⅰ-Ⅴ特性研究 | 第44-50页 |
| 5.1 PZT薄膜的非线性Ⅰ-Ⅴ特性 | 第44-46页 |
| 5.2 薄膜厚度与退火温度对阈值电压的影响 | 第46-47页 |
| 5.3 非线性Ⅰ-Ⅴ特性的导电机理 | 第47-49页 |
| 5.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第六章 总结与展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-58页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60页 |