| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 引言 | 第8-10页 |
| 1.2 太赫兹超分辨器件的研究现状 | 第10-15页 |
| 1.3 本文主要研究内容与目标 | 第15-16页 |
| 1.4 本章小结 | 第16-17页 |
| 2 基于超振荡的超衍射聚焦相关理论 | 第17-24页 |
| 2.1 超振荡技术及其实现超衍射聚焦的原理 | 第17-20页 |
| 2.1.1 光学衍射极限 | 第17-18页 |
| 2.1.2 光学超振荡 | 第18-19页 |
| 2.1.3 超衍射聚焦原理 | 第19-20页 |
| 2.2 衍射的角谱理论 | 第20-22页 |
| 2.2.1 标量角谱理论 | 第20-22页 |
| 2.2.2 矢量角谱理论 | 第22页 |
| 2.3 粒子群算法 | 第22-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 太赫兹超衍射聚焦平面透镜设计 | 第24-40页 |
| 3.1 透镜相位调控结构设计 | 第24-27页 |
| 3.1.1 器件的透射函数模型 | 第24-25页 |
| 3.1.2 单元结构参数设计 | 第25-27页 |
| 3.2 超衍射聚焦透镜设计方法 | 第27-29页 |
| 3.3 太赫兹超衍射聚焦透镜的优化设计结果 | 第29-39页 |
| 3.3.1 透镜结构参数 | 第29-31页 |
| 3.3.2 透镜聚焦性能 | 第31-35页 |
| 3.3.3 透镜结构尺寸误差对聚焦性能的影响 | 第35-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 太赫兹超衍射聚焦平面透镜的加工与测试 | 第40-61页 |
| 4.1 太赫兹超衍射聚焦透镜加工 | 第40-43页 |
| 4.1.1 透镜的加工工艺流程 | 第40-41页 |
| 4.1.2 版图设计 | 第41-42页 |
| 4.1.3 透镜加工与结构表征 | 第42-43页 |
| 4.2 太赫兹超衍射聚焦透镜的实验测试 | 第43-50页 |
| 4.2.1 太赫兹聚焦光场测试系统 | 第43-45页 |
| 4.2.2 实验测试结果 | 第45-50页 |
| 4.3 太赫兹超衍射聚焦透镜实验结果分析 | 第50-60页 |
| 4.3.1 聚焦性能的实验结果与理论结果比较 | 第50-53页 |
| 4.3.2 误差分析 | 第53-57页 |
| 4.3.3 太赫兹超衍射聚焦透镜与传统透镜聚焦性能比较 | 第57-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 5 总结与展望 | 第61-63页 |
| 5.1 论文主要工作总结 | 第61-62页 |
| 5.2 展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 附录 作者在攻读硕士学位论文期间发表的论文 | 第68页 |