| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 薄膜材料的制备技术 | 第9-13页 |
| 1.2.1 物理气相沉积 | 第10页 |
| 1.2.2 化学气相沉积 | 第10-11页 |
| 1.2.3 原子层沉积 | 第11-13页 |
| 1.3 钛基薄膜的研究现状 | 第13-23页 |
| 1.3.1 TiO_2薄膜 | 第13-16页 |
| 1.3.2 纯Ti金属薄膜 | 第16-18页 |
| 1.3.3 传统型钛前驱体 | 第18-19页 |
| 1.3.4 新型钛前驱体 | 第19-22页 |
| 1.3.5 溶液相反应简介 | 第22-23页 |
| 1.4 论文的目的和创新 | 第23-25页 |
| 1.4.1 研究内容 | 第23页 |
| 1.4.2 具体研究方法及步骤 | 第23-25页 |
| 第二章 三(N,N'-二异丙基-正丁基脒基)钛(Ⅲ)的合成及性能研究 | 第25-41页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 实验部分 | 第25-28页 |
| 2.2.1 实验试剂 | 第25-26页 |
| 2.2.2 实验设备及仪器 | 第26页 |
| 2.2.3 溶剂除水除氧及玻璃仪器除水 | 第26页 |
| 2.2.4 TiCl_3(3THF)(1)的合成及表征 | 第26-27页 |
| 2.2.5 三(N,N′-二异丙基-正丁基脒基)钛(Ⅲ)(2)的合成及表征 | 第27-28页 |
| 2.2.6 晶体结构的表征 | 第28页 |
| 2.2.7 热化学性质的表征 | 第28页 |
| 2.3 实验结果与讨论 | 第28-33页 |
| 2.3.1 TiCl_3(3THF)(1)的合成及表征 | 第28-29页 |
| 2.3.2 三(N,N′-二异丙基-正丁基脒基)钛(Ⅲ)(2)的合成及表征 | 第29-32页 |
| 2.3.3 三(N,N′-二异丙基-正丁基脒基)钛(Ⅲ)(2)的热化学性质探究 | 第32-33页 |
| 2.4 配合物2作为CVD前驱体的成膜性能探究 | 第33-40页 |
| 2.4.1 实验部分 | 第34-35页 |
| 2.4.2 薄膜形貌的表征 | 第35页 |
| 2.4.3 薄膜成分的表征 | 第35页 |
| 2.4.4 薄膜光学性能的探究 | 第35页 |
| 2.4.5 实验结果与讨论 | 第35-40页 |
| 2.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 N,N'-二叔丁基-α-二亚胺基钛(0)配合物的合成及性能研究 | 第41-56页 |
| 3.1 引言 | 第41页 |
| 3.2 实验部分 | 第41-44页 |
| 3.2.1 实验试剂 | 第41-42页 |
| 3.2.2 实验设备及仪器 | 第42页 |
| 3.2.3 二叔丁基-α-二亚胺的合成及表征 | 第42页 |
| 3.2.4 N,N'-二叔丁基-α-二亚胺基钛(0)配合物(3)的合成及表征 | 第42-44页 |
| 3.2.5 热化学性质的表征 | 第44页 |
| 3.3 实验结果与讨论 | 第44-47页 |
| 3.3.1 二叔丁基-α-二亚胺的合成与表征 | 第44页 |
| 3.3.2 N,N'-二叔丁基-α-二亚胺基钛(0)配合物(3)的合成与表征 | 第44-45页 |
| 3.3.3 N,N'-二叔丁基-α-二亚胺基钛(0)配合物(3)的热化学性质探究 | 第45-47页 |
| 3.4 配合物3作为CVD前驱体的成膜性能探究 | 第47-54页 |
| 3.4.1 实验部分 | 第47-48页 |
| 3.4.2 薄膜成分的表征 | 第48-49页 |
| 3.4.3 薄膜光学性能的探究 | 第49页 |
| 3.4.4 结果与讨论 | 第49-54页 |
| 3.5 本章小结 | 第54-56页 |
| 第四章 钛前驱体的溶液相反应探究 | 第56-73页 |
| 4.1 引言 | 第56页 |
| 4.2 钛前驱体、还原剂的合成及纯化 | 第56-63页 |
| 4.2.1 实验试剂与仪器 | 第56-57页 |
| 4.2.2 实验设备及仪器 | 第57页 |
| 4.2.3 四二甲氨基钛(TDMAT)的合成及表征 | 第57-58页 |
| 4.2.4 四氯化钛的纯化 | 第58-59页 |
| 4.2.5 还原剂2-异丙基氨基吡啶二甲基铝(4)的合成及表征 | 第59-60页 |
| 4.2.6 还原剂1,4-二(三甲基甲硅烷基)-1,4-二氢吡嗪(5)的合成及表征 | 第60-62页 |
| 4.2.7 还原剂1,4-二(三甲基甲硅烷基)-2-甲基-1,4-环己二烯(6)的合成及表征 | 第62-63页 |
| 4.2.8 还原剂肼的提纯 | 第63页 |
| 4.3 钛前驱体和还原剂的溶液相反应探究 | 第63-68页 |
| 4.3.1 四二甲氨基钛(TDMAT)的溶液相反应 | 第64页 |
| 4.3.2 四氯化钛的溶液相反应 | 第64-66页 |
| 4.3.3 三(N,N′-二异丙基-正丁基脒基)钛(Ⅲ)配合物(2)的溶液相反应 | 第66-67页 |
| 4.3.4 N,N'-二叔丁基-α-二亚胺基钛(0)配合物(3)的溶液相反应 | 第67-68页 |
| 4.4 实验结果与讨论 | 第68-72页 |
| 4.4.1 四二甲氨基钛(TDMAT)的合成及表征 | 第68-69页 |
| 4.4.2 2-异丙基氨基吡啶二甲基铝(4)的合成及表征 | 第69页 |
| 4.4.3 还原剂1,4-二(三甲基甲硅烷基)-1,4-二氢吡嗪(5)的合成及表征 | 第69-70页 |
| 4.4.4 还原剂1,4-二(三甲基甲硅烷基)-2-甲基-1,4-环己二烯(6)的合成及表征 | 第70-71页 |
| 4.4.5 钛前驱体的溶液相反应探究 | 第71-72页 |
| 4.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 结论和展望 | 第73-75页 |
| 5.1 主要结论 | 第73页 |
| 5.2 展望 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-84页 |
| 附录：作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第84页 |
