| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-27页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 微泵 | 第13-14页 |
| 1.3 压电泵 | 第14-25页 |
| 1.3.1 压电泵的分类及其工作原理 | 第14-16页 |
| 1.3.2 无阀压电泵的国内外研究现状 | 第16-24页 |
| 1.3.3 无阀压电泵的发展趋势 | 第24-25页 |
| 1.4 本文研究的主要内容 | 第25-27页 |
| 1.4.1 课题的来源与介绍 | 第25页 |
| 1.4.2 本文主要内容 | 第25-27页 |
| 第二章 无阀压电微泵的基础理论 | 第27-36页 |
| 2.1 微尺度流动理论 | 第27-29页 |
| 2.1.1 微尺度流动中的无量纲参数 | 第27-29页 |
| 2.2 压电振子理论基础 | 第29-30页 |
| 2.3 阻块式附壁射流无阀压电微泵的理论基础 | 第30-35页 |
| 2.3.1 附壁射流理论 | 第30-32页 |
| 2.3.2 工作原理 | 第32-34页 |
| 2.3.3 净流量与微泵效率计算 | 第34-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 无阀压电微泵的加工工艺 | 第36-47页 |
| 3.1 微泵的加工材料 | 第36页 |
| 3.2 硅基微泵的加工工艺 | 第36-45页 |
| 3.2.1 光刻掩膜版制作 | 第36-37页 |
| 3.2.2 硅基的光刻与刻蚀 | 第37-43页 |
| 3.2.2.1 基片清洗 | 第37页 |
| 3.2.2.2 薄膜沉积 | 第37-39页 |
| 3.2.2.3 光刻胶涂覆 | 第39页 |
| 3.2.2.4 前烘 | 第39-40页 |
| 3.2.2.5 光刻对准 | 第40页 |
| 3.2.2.6 曝光 | 第40-41页 |
| 3.2.2.7 显影与后烘 | 第41-42页 |
| 3.2.2.8 刻蚀 | 第42-43页 |
| 3.2.3 硅片与玻璃的键合 | 第43-45页 |
| 3.3 阻块式附壁射流无阀压电微泵的工艺流程 | 第45-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 阻块式附壁射流无阀压电微泵的试验研究与数值模拟 | 第47-64页 |
| 4.1 结构设计 | 第47-51页 |
| 4.2 试验研究 | 第51-56页 |
| 4.2.1 试验台布置 | 第51-52页 |
| 4.2.2 试验结果与分析 | 第52-56页 |
| 4.3 数值模拟 | 第56-63页 |
| 4.3.1 流动模型的选用 | 第56-58页 |
| 4.3.2 计算模型及边界条件的设置 | 第58-59页 |
| 4.3.3 网格无关性分析 | 第59-60页 |
| 4.3.4 周期与时间步长无关性分析 | 第60-62页 |
| 4.3.5 模拟方法可靠性分析 | 第62-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 阻块式附壁射流无阀压电微泵的瞬态性能分析 | 第64-87页 |
| 5.1 模拟结果与分析 | 第64-79页 |
| 5.1.1 阻块半径对微泵性能的影响 | 第65-67页 |
| 5.1.2 扩散角对微泵性能的影响 | 第67-69页 |
| 5.1.3 劈结构对微泵性能的影响 | 第69-72页 |
| 5.1.4 雷诺数与驱动频率对微泵性能的影响 | 第72-75页 |
| 5.1.5 长宽比与进出口流道宽度比对微泵性能的影响 | 第75-79页 |
| 5.2 响应面法性能分析 | 第79-85页 |
| 5.3 本章小结 | 第85-87页 |
| 第六章 总结与展望 | 第87-90页 |
| 6.1 本文工作 | 第87-89页 |
| 6.2 展望 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
| 攻读硕士期间研究成果 | 第97页 |