| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 课题背景和意义 | 第12页 |
| 1.2 表面粗糙度测量方法研究现状 | 第12-17页 |
| 1.2.1 接触式测量方法 | 第13-14页 |
| 1.2.2 非接触式测量方法 | 第14-17页 |
| 1.3 深孔内表面粗糙度测量方法研究现状 | 第17-22页 |
| 1.4 论文主要研究内容及结构 | 第22-24页 |
| 第二章 内表面粗糙度光纤传感器检测原理分析与设计 | 第24-39页 |
| 2.1 RIM-FOS工作原理 | 第24-28页 |
| 2.1.1 光强调制函数 | 第24-27页 |
| 2.1.2 RIM-FOS表面粗糙度测量原理分析 | 第27-28页 |
| 2.2 传感器特征参数对光强调制特性的影响规律 | 第28-33页 |
| 2.2.1 发送光纤纤芯半径影响因子 | 第29页 |
| 2.2.2 接收光纤纤芯芯径影响因子 | 第29-30页 |
| 2.2.3 发送光纤数值孔径影响因子 | 第30-31页 |
| 2.2.4 光纤轴间距影响因子 | 第31-32页 |
| 2.2.5 特征参数对光强调制特性的影响规律 | 第32-33页 |
| 2.3 单路RIM-FOS原理设计 | 第33-37页 |
| 2.3.1 光路设计 | 第33-35页 |
| 2.3.2 光纤参数选取 | 第35-37页 |
| 2.3.3 光纤束端面结构选择 | 第37页 |
| 2.4 小结 | 第37-39页 |
| 第三章 阵列式深孔内表面粗糙度测量原理 | 第39-48页 |
| 3.1 光纤传感阵列检测原理与布设 | 第39-41页 |
| 3.1.1 光纤传感阵列检测原理 | 第39-40页 |
| 3.1.2 光纤传感阵列布设 | 第40-41页 |
| 3.2 深孔内表面粗糙测量系统总体工作原理 | 第41-42页 |
| 3.3 系统测量粗糙度数学模型 | 第42-47页 |
| 3.4 小结 | 第47-48页 |
| 第四章 系统设计与试验平台搭建 | 第48-71页 |
| 4.1 光纤传感阵列结构设计 | 第48-51页 |
| 4.1.1 单路光纤传感器结构设计 | 第48-50页 |
| 4.1.2 阵列测头结构设计 | 第50-51页 |
| 4.2 光源模块 | 第51-52页 |
| 4.3 光电检测模块设计 | 第52-61页 |
| 4.3.1 光探测器选择 | 第52-53页 |
| 4.3.2 光电检测电路设计 | 第53-60页 |
| 4.3.3 光电检测模块搭建与调试 | 第60-61页 |
| 4.4 运动控制模块设计 | 第61-62页 |
| 4.5 数据采集与显示系统 | 第62-67页 |
| 4.6 试验平台搭建 | 第67-70页 |
| 4.6.1 特性测试系统试验平台搭建 | 第67-68页 |
| 4.6.2 特性标定系统试验平台搭建 | 第68-69页 |
| 4.6.3 深孔内表面粗糙度测量系统试验平台搭建 | 第69-70页 |
| 4.7 小结 | 第70-71页 |
| 第五章 深孔内表面粗糙度系统试验分析 | 第71-85页 |
| 5.1 粗糙度评定理论 | 第71-72页 |
| 5.2 单路RIM-FOS实际特性测试 | 第72-75页 |
| 5.3 单路RIM-FOS特性标定 | 第75-79页 |
| 5.4 深孔内表面粗糙度测量系统性能试验与误差分析 | 第79-84页 |
| 5.4.1 系统测量稳定性试验分析 | 第79-82页 |
| 5.4.2 系统测量数据有效性试验分析 | 第82-83页 |
| 5.4.3 测量结果影响因素分析 | 第83-84页 |
| 5.5 小结 | 第84-85页 |
| 第六章 总结与展望 | 第85-87页 |
| 6.1 总结 | 第85页 |
| 6.2 展望 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术成果 | 第93页 |