柴油机活塞表面瞬态温度测试用薄膜传感器的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 选题背景及研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 常用活塞温度测量方法及原理 | 第11-13页 |
| 1.2.1 硬度塞法 | 第11-12页 |
| 1.2.2 易熔合金法 | 第12页 |
| 1.2.3 热电偶测量法 | 第12-13页 |
| 1.2.4 红外遥感测试法 | 第13页 |
| 1.2.5 存储测试技术 | 第13页 |
| 1.2.6 非接触式互感测试法 | 第13页 |
| 1.3 薄膜温度传感器技术的研究现状 | 第13-14页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 有限元分析理论及活塞温度场分析研究 | 第15-28页 |
| 2.1 有限元分析理论基础 | 第15-20页 |
| 2.1.1 有限元分析方法简介 | 第15页 |
| 2.1.2 温度场的有限元分析理论 | 第15-19页 |
| 2.1.3 活塞热分析的理论基础 | 第19-20页 |
| 2.2 COSMOSWorks发展史及特点 | 第20-21页 |
| 2.3 柴油机活塞有限元模型的建立 | 第21-24页 |
| 2.3.1 柴油机活塞的技术参数 | 第21-22页 |
| 2.3.2 三维几何模型的建立 | 第22-23页 |
| 2.3.3 三维有限元模型的建立及网格划分 | 第23-24页 |
| 2.4 活塞温度场有限元分析 | 第24-26页 |
| 2.4.1 活塞稳态温度场分析概述 | 第24页 |
| 2.4.2 活塞传热边界条件的确定 | 第24-26页 |
| 2.4.3 活塞温度场有限元仿真与结果分析 | 第26页 |
| 本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 瞬态温度测试用薄膜传感器的研制 | 第28-44页 |
| 3.1 薄膜传感器结构设计及方案确定 | 第28-30页 |
| 3.2 陶丝元件的制备 | 第30-35页 |
| 3.2.1 高温烧结设备的介绍 | 第30-32页 |
| 3.2.2 NiCr/NiSi丝固定支架设计 | 第32页 |
| 3.2.3 陶丝元件的高温烧结 | 第32-34页 |
| 3.2.4 陶丝元件表面形貌观测 | 第34-35页 |
| 3.3 薄膜温度传感器薄膜的制备 | 第35-39页 |
| 3.3.1 直流脉冲磁控溅射原理 | 第35-37页 |
| 3.3.2 直流脉冲磁控溅射系统简介 | 第37-38页 |
| 3.3.3 夹紧片和陶丝元件固定板的设计 | 第38页 |
| 3.3.4 NiSi薄膜的制备 | 第38-39页 |
| 3.4 NiSi薄膜的性能表征 | 第39-42页 |
| 3.4.1 NiSi薄膜的厚度测量 | 第40-41页 |
| 3.4.2 NiSi薄膜表面形貌观测 | 第41页 |
| 3.4.3 NiSi薄膜能谱分析 | 第41-42页 |
| 3.5 Si3N4保护膜的制备 | 第42-43页 |
| 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 瞬态温度测试用薄膜传感器技术特性研究 | 第44-55页 |
| 4.1 瞬态温度测试用薄膜传感器静态标定 | 第44-50页 |
| 4.1.1 静态标定系统 | 第44-47页 |
| 4.1.2 静态标定实验具体过程 | 第47-48页 |
| 4.1.3 静态标定结果与分析 | 第48-50页 |
| 4.2 瞬态温度测试用薄膜传感器动态标定 | 第50-54页 |
| 4.2.1 薄膜热电偶动态标定方案确定 | 第50-51页 |
| 4.2.2 薄膜热电偶动态标定系统 | 第51-52页 |
| 4.2.4 动态标定实验过程及结果 | 第52-54页 |
| 本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第58页 |
| 攻读硕士学位期间申请发明专利情况 | 第58-59页 |
| 攻读硕士学位期间获奖情况 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
