抗激光损伤薄膜的制备与性质研究
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 绪论 | 第15-29页 |
| 1.1 概述 | 第15-16页 |
| 1.2 Ta_2O_5的结构和应用 | 第16-19页 |
| 1.3 Ti O_2的结构和应用 | 第19-20页 |
| 1.4 薄膜的制备方法 | 第20-26页 |
| 1.5 激光与材料作用损伤机理 | 第26-29页 |
| 2 研究的内容和方法 | 第29-33页 |
| 2.1 研究的主要内容 | 第29页 |
| 2.2 研究的技术路线 | 第29-30页 |
| 2.3 实验仪器设备 | 第30页 |
| 2.4 实验材料 | 第30-31页 |
| 2.5 分析方法 | 第31-33页 |
| 3 Ti O_2薄膜的制备与热处理 | 第33-42页 |
| 3.1 基底的清洗准备 | 第33-36页 |
| 3.2 Ti O_2薄膜的制备 | 第36-37页 |
| 3.3 Ti O_2薄膜的热处理 | 第37-38页 |
| 3.4 薄膜热处理后的形貌特征 | 第38-42页 |
| 4 Ta_2O_5薄膜的制备与热处理 | 第42-48页 |
| 4.1 Ta_2O_5薄膜的制备 | 第42-44页 |
| 4.2 Ta_2O_5薄膜的热处理 | 第44-45页 |
| 4.3 薄膜热处理后的形貌特征 | 第45-48页 |
| 5 薄膜性能的测试表征 | 第48-63页 |
| 5.1 紫外-可见光漫反射光谱分析 | 第48-53页 |
| 5.2 荧光光谱分析 | 第53页 |
| 5.3 扫描电镜分析 | 第53-55页 |
| 5.4 粉末样品的热重和差热测试分析 | 第55-56页 |
| 5.5 粉末样品的傅里叶红外光谱分析 | 第56-58页 |
| 5.6 粉末样品的XRD测试分析 | 第58页 |
| 5.7 薄膜激光损伤阈值测试及损伤形貌 | 第58-61页 |
| 5.8 薄膜激光损伤三维形貌 | 第61-63页 |
| 6 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 作者简历 | 第70-72页 |
| 学位论文数据集 | 第72页 |
