| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 课题的背景及研究的目的和意义 | 第10页 |
| 1.2 氧化石墨烯的结构与性能 | 第10-12页 |
| 1.3 湿度传感器研究现状概述 | 第12-15页 |
| 1.3.1 质量敏感型湿度传感器简述 | 第12-13页 |
| 1.3.2 电容型湿度传感器简述 | 第13-14页 |
| 1.3.3 电阻型湿度传感器简述 | 第14-15页 |
| 1.4 氧化石墨烯在湿度传感领域的研究现状与分析 | 第15-24页 |
| 1.4.1 氧化石墨烯在石英晶体微天平中的应用 | 第16-17页 |
| 1.4.2 氧化石墨烯在电容型湿度传感器中的应用 | 第17-18页 |
| 1.4.3 氧化石墨烯在湿度驱动纳米发电机中的应用 | 第18-21页 |
| 1.4.4 氧化石墨烯在非接触式湿度传感器中的应用 | 第21-22页 |
| 1.4.5 氧化石墨烯在湿度致动器中的应用 | 第22-24页 |
| 1.5 课题的主要研究内容 | 第24-26页 |
| 第2章 实验材料与方法 | 第26-30页 |
| 2.1 实验使用的仪器及试剂 | 第26-28页 |
| 2.1.1 仪器设备 | 第26-27页 |
| 2.1.2 实验试剂 | 第27-28页 |
| 2.2 实验表征方法 | 第28-29页 |
| 2.2.1 拉曼光谱分析 | 第28页 |
| 2.2.2 紫外吸收光谱分析 | 第28页 |
| 2.2.3 原子力显微镜分析 | 第28页 |
| 2.2.4 扫描电子显微镜分析 | 第28-29页 |
| 2.2.5 能谱分析 | 第29页 |
| 2.2.6 X射线衍射分析 | 第29页 |
| 2.2.7 接触角测量分析 | 第29页 |
| 2.3 电学性能测试方法 | 第29-30页 |
| 第3章 氧化石墨烯薄膜的湿度响应特性研究 | 第30-40页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 氧化石墨烯薄膜的制备 | 第30-31页 |
| 3.2.1 氧化石墨烯的制备 | 第30-31页 |
| 3.2.2 氧化石墨烯薄膜的制备 | 第31页 |
| 3.3 氧化石墨烯薄膜的表征 | 第31-34页 |
| 3.3.1 氧化石墨烯的原子力显微镜分析 | 第31-32页 |
| 3.3.2 氧化石墨烯溶液的紫外吸收光谱分析 | 第32-33页 |
| 3.3.3 氧化石墨烯薄膜的拉曼分析 | 第33页 |
| 3.3.4 氧化石墨烯薄膜的断面形貌表征 | 第33-34页 |
| 3.3.5 氧化石墨烯薄膜的X射线衍射分析 | 第34页 |
| 3.4 氧化石墨烯薄膜的电学性能测试 | 第34-38页 |
| 3.4.1 氧化石墨烯薄膜湿度响应性能测试 | 第34-37页 |
| 3.4.2 氧化石墨烯薄膜在湿度传感领域的应用 | 第37-38页 |
| 3.5 氧化石墨烯薄膜湿度响应性能的原理分析 | 第38-39页 |
| 3.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 基于氧化石墨烯薄膜的自供电湿度敏感器件的湿度响应性能研究 | 第40-53页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 自供电湿度敏感器件的制备 | 第40-43页 |
| 4.2.1 自供电湿度敏感器件的制备方法 | 第40-43页 |
| 4.2.2 5×5阵列器件的制备方法 | 第43页 |
| 4.3 自供电湿度敏感器件的表征 | 第43-45页 |
| 4.3.1 氧化石墨烯薄膜的拉曼分析 | 第43-44页 |
| 4.3.2 氧化石墨烯薄膜的扫描电镜分析 | 第44-45页 |
| 4.4 自供电湿度敏感器件的电学性能测试 | 第45-51页 |
| 4.4.1 不同沟道宽度自供电湿度敏感器件的湿度响应性能测试及比较 | 第45-49页 |
| 4.4.2 自供电湿度敏感器件的湿度响应特性 | 第49-50页 |
| 4.4.3 自供电湿度敏感器件在湿度传感领域的应用 | 第50-51页 |
| 4.5 自供电湿度敏感器件的工作原理分析 | 第51-52页 |
| 4.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 基于自供电原理的零功耗湿度敏感器件的湿度响应性能研究 | 第53-66页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 零功耗湿度敏感器件的制备 | 第53-54页 |
| 5.3 零功耗湿度敏感器件的表征 | 第54-58页 |
| 5.3.1 氧化石墨烯薄膜的拉曼分析 | 第54-57页 |
| 5.3.2 氧化石墨烯薄膜的扫描电镜分析 | 第57-58页 |
| 5.4 零功耗湿度敏感器件的电学性能测试 | 第58-63页 |
| 5.4.1 零功耗湿度敏感器件的湿度响应性能测试 | 第58-62页 |
| 5.4.2 零功耗湿度敏感器件于湿度传感领域的应用 | 第62-63页 |
| 5.5 零功耗湿度敏感器件的工作原理分析 | 第63-65页 |
| 5.6 本章小结 | 第65-66页 |
| 第6章 基于零功耗制备原理的湿度致动器的湿度响应性能研究 | 第66-79页 |
| 6.1 引言 | 第66页 |
| 6.2 零功耗湿度致动器的制备 | 第66-67页 |
| 6.3 零功耗湿度致动器的表征 | 第67-75页 |
| 6.3.1 氧化石墨烯薄膜的拉曼分析 | 第67-70页 |
| 6.3.2 氧化石墨烯薄膜的扫描电镜分析 | 第70-72页 |
| 6.3.3 氧化石墨烯薄膜的X射线衍射分析 | 第72-74页 |
| 6.3.4 氧化石墨烯薄膜的接触角测量分析 | 第74-75页 |
| 6.4 零功耗湿度致动器的湿度响应性能测试 | 第75-77页 |
| 6.5 零功耗湿度致动器的工作原理 | 第77页 |
| 6.6 零功耗湿度致动器的应用 | 第77-78页 |
| 6.7 本章小结 | 第78-79页 |
| 结论 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-87页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第87-89页 |
| 致谢 | 第89页 |
