| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 引言 | 第8-10页 |
| 1.2 土木工程结构现场实测工作现状 | 第10-11页 |
| 1.3 压力传感器概况 | 第11-15页 |
| 1.3.1 微机电系统（MEMS）应用评述 | 第12-13页 |
| 1.3.2 压力传感器发展历程 | 第13页 |
| 1.3.3 微型压力传感器国内外现状 | 第13-15页 |
| 1.3.4 压力传感器发展趋势 | 第15页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 帐篷结构掺杂硅压阻式脉动风压传感器设计 | 第16-40页 |
| 2.1 帐篷结构掺杂硅压阻式脉动风压传感器原理分析 | 第16-22页 |
| 2.2 帐篷结构掺杂硅压阻式脉动风压传感器芯片总体设计 | 第22-32页 |
| 2.2.1 帐篷结构掺杂硅压阻式脉动风压传感器性能指标的确定 | 第22-24页 |
| 2.2.2 帐篷结构脉动传感器芯片结构形式及敏感薄膜设计 | 第24-28页 |
| 2.2.3 帐篷结构掺杂硅压阻式脉动风压传感器芯片结构设计 | 第28-32页 |
| 2.3 帐篷结构掺杂硅压阻式脉动风压传感器芯片电路版图设计 | 第32-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-40页 |
| 第3章 帐篷结构掺杂硅压阻式脉动风压传感器关键工艺分析与制作 | 第40-60页 |
| 3.1 帐篷结构掺杂硅压阻式脉动风压传感器关键制作工艺分析 | 第40-45页 |
| 3.2 帐篷结构掺杂硅压阻式脉动风压传感器制作工艺设计及制作 | 第45-52页 |
| 3.3 帐篷结构掺杂硅压阻式脉动风压传感器信号测试 | 第52-59页 |
| 3.3.1 帐篷结构掺杂硅压阻式脉动风压传感器信号测试方案 | 第52-53页 |
| 3.3.2 帐篷结构掺杂硅压阻式脉动风压传感器信号测试结果 | 第53-56页 |
| 3.3.3 帐篷结构掺杂硅压阻式脉动风压传感器的性能指标 | 第56-59页 |
| 3.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第4章 帐篷结构掺杂硅压阻式脉动风压传感器性能指标验证试验系统分析 | 第60-68页 |
| 4.1 帐篷结构掺杂硅压阻式脉动风压传感器性能指标验证试验方案 | 第60-63页 |
| 4.2 帐篷结构脉动风压传感器性能指标验证试验系统分析 | 第63-67页 |
| 4.3 本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 5.1 本文主要结论 | 第68页 |
| 5.2 展望 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
