| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 研究背景和研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-21页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第21-23页 |
| 2 实验材料和研究方法 | 第23-33页 |
| 2.1 试验材料 | 第23-24页 |
| 2.2 研究方法 | 第24-29页 |
| 2.3 试验设备 | 第29-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 基于 Al/Ni 自蔓延燃烧反应的 Cu/Cu 互连工艺 | 第33-46页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 基于 Al/Ni 自蔓延燃烧反应的 Cu/Cu 互连 | 第33-40页 |
| 3.3 不同参数下的 Cu/Cu 自蔓延燃烧反应互连对比 | 第40-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 4 Cu/Cu 自蔓延燃烧反应互连温度场的有限元分析 | 第46-67页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 Cu/Cu 自蔓延燃烧反应互连温度场有限元模型 | 第46-48页 |
| 4.3 Cu/Cu 自蔓延燃烧反应互连温度场模拟结果和验证 | 第48-53页 |
| 4.4 不同预热温度下的自蔓延燃烧反应互连温度场 | 第53-56页 |
| 4.5 不同钎料厚度下的自蔓延燃烧反应互连温度场 | 第56-59页 |
| 4.6 钎料最高温度/液态时间的多元非线性回归 | 第59-65页 |
| 4.7 本章小结 | 第65-67页 |
| 5 基于 Al/Ni 自蔓延燃烧反应的 Cu/Si 互连及温度场有限元分析 | 第67-75页 |
| 5.1 引言 | 第67页 |
| 5.2 Cu/Si 自蔓延燃烧反应互连 | 第67-68页 |
| 5.3 Cu/Si 自蔓延燃烧反应互连温度场有限元分析 | 第68-73页 |
| 5.4 Cu/Si 和 Cu/Cu 自蔓延燃烧反应互连温度场对比分析 | 第73页 |
| 5.5 本章小结 | 第73-75页 |
| 6 全文总结与展望 | 第75-77页 |
| 6.1 全文总结 | 第75-76页 |
| 6.2 展望 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-83页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第83页 |
