| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-24页 |
| 1.1 研究背景 | 第11页 |
| 1.2 金刚石的结构、性能及应用 | 第11-15页 |
| 1.2.1 金刚石的晶体结构 | 第11-12页 |
| 1.2.2 金刚石的性能及应用 | 第12-15页 |
| 1.3 金刚石的合成 | 第15-16页 |
| 1.3.1 金刚石的制备原理 | 第15-16页 |
| 1.3.2 化学气相合成金刚石的方法 | 第16页 |
| 1.4 钢铁基体表面 CVD 金刚石膜的研究进展 | 第16-22页 |
| 1.4.1 钢铁基体 CVD 金刚石膜存在的问题 | 第16-17页 |
| 1.4.2 过渡层设计原则 | 第17-18页 |
| 1.4.3 钢基体上沉积金刚石膜的研究进展 | 第18-22页 |
| 1.5 研究内容和意义 | 第22-24页 |
| 1.5.1 研究内容 | 第22-23页 |
| 1.5.2 研究意义 | 第23-24页 |
| 第二章 实验方法与检测设备 | 第24-34页 |
| 2.1 试验方法 | 第24-26页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第24-25页 |
| 2.1.2 实验步骤与流程 | 第25-26页 |
| 2.2 实验设备及原理 | 第26-32页 |
| 2.2.1 磁控溅射镀膜系统 | 第26页 |
| 2.2.2 电镀设备及原理 | 第26-29页 |
| 2.2.3 热丝化学气相沉积设备 | 第29-31页 |
| 2.2.4 固体渗硼工艺 | 第31-32页 |
| 2.3 样品表征 | 第32-34页 |
| 2.3.1 金相显微镜 | 第32页 |
| 2.3.2 表面维氏硬度计 | 第32页 |
| 2.3.3 微/纳米综合力学测试系统 | 第32页 |
| 2.3.4 扫描电子显微镜（SEM） | 第32-33页 |
| 2.3.5 能谱仪（EDS） | 第33页 |
| 2.3.6 X 射线衍射仪（XRD） | 第33页 |
| 2.3.7 激光拉曼光谱仪（Raman） | 第33页 |
| 2.3.8 表面洛氏硬度计 | 第33-34页 |
| 第三章 低合金钢上过渡层的制备及研究 | 第34-51页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 低合金钢上过渡层的制备 | 第34-35页 |
| 3.3 Cr/Mo 过渡层的研究 | 第35-39页 |
| 3.3.1 Cr/Mo 膜的形貌分析 | 第35-36页 |
| 3.3.2 Cr/Mo 膜的界面元素分析 | 第36-37页 |
| 3.3.3 Cr/Mo 膜的相组成分析 | 第37-38页 |
| 3.3.4 Cr/Mo 膜的硬度和结合力的测试及分析 | 第38-39页 |
| 3.4 Cr/Ti 过渡层的研究 | 第39-44页 |
| 3.4.1 Cr/Ti 膜的形貌分析 | 第39-42页 |
| 3.4.2 Cr/Ti 膜的相组成分析 | 第42-43页 |
| 3.4.3 Cr/Ti 膜的硬度和结合力的测试及分析 | 第43-44页 |
| 3.5 Cr/Cu 过渡层的研究 | 第44-45页 |
| 3.6 镶嵌结构界面复合过渡层的研究 | 第45-50页 |
| 3.6.1 Cr-金刚石复合镀层的制备 | 第45-48页 |
| 3.6.2 Cu-金刚石复合镀层的制备 | 第48-50页 |
| 3.7 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 渗硼层的制备及性能研究 | 第51-63页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 氟硼酸钾渗剂制备渗硼层的研究 | 第51-59页 |
| 4.2.1 样品制备工艺 | 第51-52页 |
| 4.2.2 渗硼层的组织与性能分析 | 第52-59页 |
| 4.3 氟硅酸钠渗剂制备渗硼层的研究 | 第59-62页 |
| 4.3.1 样品制备工艺 | 第59页 |
| 4.3.2 渗硼层的组织与性能分析 | 第59-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 热丝化学气相沉积金刚石膜的研究 | 第63-83页 |
| 5.1 热丝 CVD 金刚石膜的制备工艺 | 第63页 |
| 5.2 Cr/Cu 过渡层上沉积金刚石膜的研究 | 第63-69页 |
| 5.2.1 表面形貌分析 | 第64-66页 |
| 5.2.2 拉曼光谱分析 | 第66-67页 |
| 5.2.3 金刚石膜的剥落及其原因分析 | 第67-69页 |
| 5.3 Cr/Ti 过渡层上沉积金刚石膜的研究 | 第69-73页 |
| 5.3.1 表面形貌分析 | 第69-70页 |
| 5.3.2 拉曼光谱分析 | 第70-71页 |
| 5.3.3 金刚石膜的剥落及其原因分析 | 第71-73页 |
| 5.4 渗硼层上热丝化学气相沉积金刚石膜 | 第73-82页 |
| 5.4.1 表面形貌分析 | 第74-75页 |
| 5.4.2 拉曼光谱分析 | 第75-76页 |
| 5.4.3 XRD 物相分析 | 第76-77页 |
| 5.4.4 渗硼体系膜基界面结合性能的研究 | 第77-82页 |
| 5.5 本章小结 | 第82-83页 |
| 结论与展望 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-92页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第92-93页 |
| 致谢 | 第93-94页 |
| 附件 | 第94页 |