| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 图目录 | 第10-12页 |
| 表目录 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·背景知识 | 第14-17页 |
| ·MEMS技术简介 | 第14-15页 |
| ·无线通信电路简介 | 第15-16页 |
| ·RF MEMS简介 | 第16-17页 |
| ·薄膜体声波滤波器介绍及其国内外研究现状 | 第17-20页 |
| ·薄膜体声波滤波器简介 | 第17-18页 |
| ·国内外的研究现状 | 第18-20页 |
| ·本文的研究工作及创新点 | 第20-23页 |
| ·论文的结构安排 | 第20-21页 |
| ·本文的创新点 | 第21-23页 |
| 第二章 SCFBAF的结构设计与建模 | 第23-34页 |
| ·理想FBAR的结构和工作原理 | 第23-24页 |
| ·复合FBAR的种类和结构 | 第24-26页 |
| ·基于一维Mason模型的理想FBAR等效电路 | 第26-30页 |
| ·SCFBAF的结构设计及工作原理 | 第30-31页 |
| ·SCFBAF的建模及理论推导 | 第31-34页 |
| 第三章 SCFBAF的材料选择 | 第34-38页 |
| ·SCFBAF压电材料选择 | 第34-37页 |
| ·SCFBAF电极材料选择 | 第37-38页 |
| 第四章 SCFBAF的3D有限元仿真 | 第38-46页 |
| ·选择仿真方法 | 第38页 |
| ·前处理器 | 第38-41页 |
| ·建立实体模型 | 第38-39页 |
| ·定义单元及材料属性 | 第39-40页 |
| ·网格划分 | 第40-41页 |
| ·加载和求解 | 第41-43页 |
| ·定义分析类型和设置分析选项 | 第41-42页 |
| ·施加载荷 | 第42-43页 |
| ·求解 | 第43页 |
| ·后处理操作 | 第43-46页 |
| ·通用后处理器(POST1) | 第43-44页 |
| ·时间历程后处理器(POST26) | 第44-46页 |
| 第五章 计算结果 | 第46-62页 |
| ·不同压电材料的SCFBAF的幅频特性计算结果 | 第46-49页 |
| ·以PZT为压电材料的SCFBAF幅频特性计算结果 | 第47-48页 |
| ·以ZnO为压电材料的SCFBAF幅频特性计算结果 | 第48页 |
| ·以AlN为压电材料的SCFBAF幅频特性计算结果 | 第48-49页 |
| ·不同压电层厚度的SCFBAF幅频特性计算结果 | 第49-57页 |
| ·两压电层同步变化时的SCFBAF幅频特性计算结果 | 第49-52页 |
| ·一个压电层厚度固定另一个压电层厚度变化时的SCFBAF幅频特性计算结果 | 第52-56页 |
| ·压电层1厚度固定压电层2厚度变化时的SCFBAF幅频特性计算结果 | 第52-54页 |
| ·压电层2厚度固定压电层1厚度变化时的SCFBAF幅频特性计算结果 | 第54-56页 |
| ·两压电层总厚度固定时的SCFBAF幅频特性计算结果 | 第56-57页 |
| ·不同形状的SCFBAF幅频特性计算结果 | 第57-62页 |
| ·长方形SCFBAF的幅频特性计算结果 | 第57-59页 |
| ·圆形SCFBAF的幅频特性计算结果 | 第59-62页 |
| 第六章 结果分析及结论 | 第62-69页 |
| ·压电材料对SCFBAF幅频特性的影响分析 | 第62-63页 |
| ·压电层厚度对SCFBAF幅频特性的影响分析 | 第63-66页 |
| ·形状对SCFBAF幅频特性的影响分析 | 第66页 |
| ·结论 | 第66-69页 |
| 第七章 SCFBAF的制备流程设计 | 第69-78页 |
| ·压电薄膜的制备 | 第69-75页 |
| ·PZT薄膜的制备方法及特点 | 第69-73页 |
| ·射频磁控溅射法(RFMS) | 第70-71页 |
| ·脉冲激光沉积法(PLD) | 第71-72页 |
| ·溶胶-凝胶法(Sol-Gel) | 第72-73页 |
| ·金属有机化学气相沉积(MOCVD) | 第73页 |
| ·烧结法 | 第73页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法及特点 | 第73-75页 |
| ·MOCVD制备ZnO薄膜的主要特点 | 第74页 |
| ·MBE方法简介及特点 | 第74页 |
| ·磁控溅射(Magnetron Sputtering,MS)法特点 | 第74-75页 |
| ·PLD法和Sol-Gel法 | 第75页 |
| ·AlN薄膜的制备方法及特点 | 第75页 |
| ·电极的制备 | 第75页 |
| ·SCFBAF的工艺制备流程 | 第75-78页 |
| 第八章 总结及展望 | 第78-80页 |
| ·总结 | 第78-79页 |
| ·论文的不足 | 第79页 |
| ·展望 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 参考文献/Reference | 第81-86页 |
| 附录Ⅰ 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第86页 |
