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单晶硅太阳电池腐蚀液及绒面结构的研究

摘要第5-7页
ABSTRACT第7-8页
第一章 绪论第11-20页
    1.1 太阳电池研究的意义第11-13页
    1.2 太阳电池的工作原理和基本结构第13-16页
    1.3 晶体硅太阳电池技术的发展第16-19页
        1.3.1 绒面制备技术第17-18页
        1.3.2 背场制作技术第18页
        1.3.3 钝化技术第18-19页
    1.4 本文的研究意义和主要内容第19-20页
第二章 化学腐蚀法制备单晶体硅电池绒面的机理第20-28页
    2.1 单晶硅各向异性腐蚀机制模型第20-22页
    2.2 金字塔绒面结构及光学特性第22-23页
    2.3 金字塔绒面制备的影响因素第23-27页
        2.3.1 硅片腐蚀速率理论第24-25页
        2.3.2 温度对腐蚀反应的影响第25-26页
        2.3.3 搅拌对腐蚀反应的影响第26-27页
    2.4 本章小结第27-28页
第三章TMAH腐蚀液制备单晶硅电池绒面的研究第28-39页
    3.1 传统NaOH溶液制备绒面第28-30页
    3.2 TMAH溶液制备绒面第30-35页
        3.2.1 TMAH浓度对制绒效果的影响第30-31页
        3.2.2 IPA浓度对制绒效果的影响第31-32页
        3.2.3 溶液温度对制绒效果的影响第32-33页
        3.2.4 腐蚀时间对制绒效果的影响第33-35页
    3.3 TMAH绒面与NaOH绒面电池性能比较第35-38页
    3.4 本章小结第38-39页
第四章 单晶硅太阳电池单面制绒结构的研究第39-54页
    4.1 SiNx保护层阻挡制绒的效果第40-44页
    4.2 减薄溶液去除绒面金字塔的效果第44-46页
    4.3 实验结果及讨论第46-53页
        4.3.1 单面制绒对铝背场的影响第46-50页
        4.3.2 单面制绒对电池性能参数的影响第50-51页
        4.3.3 串联电阻对填充因子的影响第51-52页
        4.3.4 硅片厚度对电性能的影响第52-53页
    4.4 本章小结第53-54页
第五章 全文总结第54-56页
    5.1 主要结论第54-55页
    5.2 研究展望第55-56页
参考文献第56-61页
致谢第61-62页
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文第62-64页

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