| 摘要 | 第5-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第14-27页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第14-15页 |
| 1.2 非球面检测技术与方法 | 第15-23页 |
| 1.2.1 轮廓测量法 | 第15-17页 |
| 1.2.2 波前斜率检测法 | 第17-18页 |
| 1.2.3 二次曲面无像差点检测 | 第18-19页 |
| 1.2.4 子孔径拼接检测法 | 第19-20页 |
| 1.2.5 补偿器补偿检测法 | 第20-21页 |
| 1.2.6 计算全息图补偿检测法 | 第21-23页 |
| 1.3 干涉补偿检验误差分析与精度标定的国内外发展现状 | 第23-24页 |
| 1.3.1 干涉补偿检验误差分析与精度标定的国外发展现状 | 第23-24页 |
| 1.3.2 干涉零位检验误差分析和精度标定的国内发展现状 | 第24页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第24-25页 |
| 1.5 本章小结 | 第25-27页 |
| 第2章 干涉仪误差分析与精度标定 | 第27-45页 |
| 2.1 概述 | 第27页 |
| 2.2 干涉仪误差及常用绝对检测方法 | 第27-31页 |
| 2.2.1 干涉仪误差 | 第27-30页 |
| 2.2.2 常用绝对检测方法 | 第30-31页 |
| 2.3 最大似然估计算法 | 第31-34页 |
| 2.4 干涉仪平面参考镜标定实验与结果分析 | 第34-39页 |
| 2.4.1 干涉仪平面参考镜标定实验 | 第34-37页 |
| 2.4.2 干涉仪平面参考镜标定实验结果处理与分析 | 第37-39页 |
| 2.5 干涉仪球面参考镜标定实验与结果分析 | 第39-44页 |
| 2.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 第3章 CGH误差分析与精度标定 | 第45-67页 |
| 3.1 概述 | 第45页 |
| 3.2 CGH理论及误差源 | 第45-49页 |
| 3.3 CGH误差分析 | 第49-56页 |
| 3.3.1 拟合残差 | 第49页 |
| 3.3.2 编码误差 | 第49页 |
| 3.3.3 基板误差 | 第49-51页 |
| 3.3.4 刻画畸变 | 第51-53页 |
| 3.3.5 占空比误差、位相函数误差和振幅误差 | 第53-56页 |
| 3.4 CGH检测自由曲面的设计与精度分析 | 第56-65页 |
| 3.5 本章小结 | 第65-67页 |
| 第4章 补偿器误差分析与精度标定 | 第67-99页 |
| 4.1 概述 | 第67页 |
| 4.2 补偿器设计及误差来源 | 第67-77页 |
| 4.3 利用CGH标定补偿器实验 | 第77-85页 |
| 4.4 补偿器误差分析 | 第85-97页 |
| 4.4.1 干涉仪与补偿器对准误差 | 第87-88页 |
| 4.4.2 补偿器光学元件偏心 | 第88-90页 |
| 4.4.3 补偿器光学元件角度误差 | 第90-92页 |
| 4.4.4 补偿器两元件间隔误差 | 第92-93页 |
| 4.4.5 补偿器元件曲率半径误差 | 第93-95页 |
| 4.4.6 补偿器元件厚度误差 | 第95-97页 |
| 4.4.7 补偿器误差分析总结 | 第97页 |
| 4.5 本章小结 | 第97-99页 |
| 第5章 空间大口径非球面干涉补偿检测误差分析与精度标定 | 第99-115页 |
| 5.1 概述 | 第99页 |
| 5.2 利用CGH检测空间大口径非球面的误差分析与精度标定 | 第99-106页 |
| 5.3 利用补偿器检测空间大口径非球面的误差分析与精度标定 | 第106-113页 |
| 5.4 CGH检测与补偿器检测结果对比 | 第113-114页 |
| 5.5 本章小结 | 第114-115页 |
| 第6章 结论与展望 | 第115-119页 |
| 6.1 全文总结 | 第115-117页 |
| 6.2 研究展望 | 第117-119页 |
| 6.2.1 干涉仪参考镜标定算法中中高频信息的获取 | 第117页 |
| 6.2.2 CGH基板误差补偿 | 第117-118页 |
| 6.2.3 补偿器误差分离 | 第118-119页 |
| 参考文献 | 第119-127页 |
| XXX在学期间学术成果情况 | 第127-129页 |
| 指导教师及作者简介 | 第129-131页 |
| 致谢 | 第131页 |
