基于双频干涉的直线度及其位置测量方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 综述 | 第9-20页 |
| ·直线度测量的国内外研究现状 | 第9-18页 |
| ·非激光类的直线度测量方法 | 第9-11页 |
| ·激光类的直线度测量方法 | 第11-18页 |
| ·论文的研究意义 | 第18-19页 |
| ·论文的组织结构及研究思路 | 第19-20页 |
| 第二章 方案设计及理论分析 | 第20-31页 |
| ·本章概述 | 第20页 |
| ·方案设计 | 第20-24页 |
| ·光路结构的初步设计 | 第21-22页 |
| ·光路结构的优化设计 | 第22-24页 |
| ·测量原理及分析 | 第24-25页 |
| ·光学元件的选择 | 第25-29页 |
| ·激光器 | 第26页 |
| ·分光器 | 第26-28页 |
| ·反射镜 | 第28-29页 |
| ·关键技术 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 信号处理方法 | 第31-54页 |
| ·本章概述 | 第31页 |
| ·信号处理系统方案设计 | 第31-32页 |
| ·外差干涉的数字信号处理方法 | 第32-35页 |
| ·边沿触发器型鉴相法 | 第33-34页 |
| ·双向差动触发器型鉴相法 | 第34-35页 |
| ·信号处理方法及实现 | 第35-44页 |
| ·小数计数 | 第36-38页 |
| ·大数计数 | 第38-41页 |
| ·大小数整合 | 第41-44页 |
| ·硬件电路设计 | 第44-53页 |
| ·FPGA及其配置电路 | 第44-47页 |
| ·信号预处理电路 | 第47-49页 |
| ·电源电路 | 第49-50页 |
| ·时钟电路 | 第50-51页 |
| ·复位电路 | 第51页 |
| ·串口传输电路 | 第51-52页 |
| ·硬件电路实物图 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 实验测试与分析 | 第54-87页 |
| ·本章概述 | 第54页 |
| ·比对实验 | 第54-66页 |
| ·毫米级实验 | 第55-59页 |
| ·微米级实验 | 第59-63页 |
| ·纳米级实验 | 第63-66页 |
| ·信号处理测试实验 | 第66-75页 |
| ·100°步进实验 | 第67-69页 |
| ·10°步进实验 | 第69-73页 |
| ·5°步进实验 | 第73-75页 |
| ·系统实验 | 第75-84页 |
| ·毫米级实验 | 第77-80页 |
| ·微米级实验 | 第80-84页 |
| ·误差分析 | 第84-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 第五章 总结与展望 | 第87-90页 |
| ·论文的创新点 | 第87页 |
| ·论文完成的具体工作 | 第87-88页 |
| ·论文展望 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-94页 |
| 致谢 | 第94-95页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第95-96页 |
| 附录一 | 第96-97页 |
| 附录二 | 第97-98页 |
| 附录三 | 第98-101页 |
| 附录四 | 第101-104页 |
