| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1．1 微尺度热传输概述 | 第9-12页 |
| 1．2 微尺度热传输研究现状 | 第12-19页 |
| 1．2．1 微尺度热传导理论进展 | 第13-15页 |
| 1．2．2 热物性参数的实验测试技术 | 第15-17页 |
| 1．2．3 计算机模拟 | 第17-19页 |
| 1．3 本文的研究内容和现实意义 | 第19-20页 |
| 2 分子模拟软件及分子动力学理论 | 第20-31页 |
| 2．1 分子模拟软件Materials Studio~(TM) | 第20-21页 |
| 2．1．1 Materials Studio软件的主要技术特点 | 第20页 |
| 2．1．2 模块功能和使用介绍 | 第20-21页 |
| 2．2 分子动力学理论基本原理 | 第21-31页 |
| 2 .2.1 数值算法 | 第24-25页 |
| 2．2．2 抽样统计与宏观性质 | 第25-28页 |
| 2．2．3 统计系综的实现 | 第28-29页 |
| 2．2．4 体系边界与势能截断 | 第29-30页 |
| 2．2．5 初始条件、标度因子与势函数 | 第30-31页 |
| 3 纳米薄膜比热容的分子动力学模拟 | 第31-44页 |
| 3．1 SiO_2薄膜比热容的分子动力学模拟 | 第32-38页 |
| 3．2 Si薄膜的比热容 | 第38-39页 |
| 3．3 Al和Cu薄膜的比热容 | 第39-41页 |
| 3．4 不同势函数对模拟结果的影响 | 第41-42页 |
| 3．5 缺陷对材料比热容的影响 | 第42-43页 |
| 3．6 小结 | 第43-44页 |
| 4 纳米薄膜比热容的测试 | 第44-56页 |
| 4．1 微量热卡计的结构与特点 | 第44-47页 |
| 4．1．1 微量热卡计的加工工艺与结构 | 第44-45页 |
| 4．1．2 微量热卡计的特点 | 第45-47页 |
| 4．2 测试方案与系统 | 第47-49页 |
| 4．2．1 微量热卡计的热容测试原理 | 第47-48页 |
| 4．2．2 测量系统 | 第48-49页 |
| 4．3 测试结果与分析 | 第49-55页 |
| 4．3．1 大气环境中的测试数据与结果分析 | 第50-52页 |
| 4．3．2 真空中的测量数据与结果分析 | 第52-55页 |
| 4．4 小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第62页 |