| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 课题来源及研究的背景意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 微小型零件超精密加工的研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 微小型加工机床的研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 微细加工机理的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 超精密机床的研究现状 | 第14-17页 |
| 1.4 超精密机床几何误差的研究现状 | 第17-20页 |
| 1.4.1 超精密机床几何误差建模的研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4.2 超精密机床几何误差辨识的研究现状 | 第18-20页 |
| 1.5 课题研究的主要内容 | 第20-21页 |
| 第2章 超精密五轴机床的综合误差建模 | 第21-38页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 超精密五轴机床的结构分析 | 第21-22页 |
| 2.3 超精密五轴机床的误差元素分析 | 第22-26页 |
| 2.3.1 机床的误差源分析 | 第22-23页 |
| 2.3.2 机床的综合误差元素分析 | 第23-26页 |
| 2.4 超精密五轴机床的误差运动学分析 | 第26-29页 |
| 2.5 超精密五轴机床的综合误差建模 | 第29-37页 |
| 2.5.1 参考坐标系的定义 | 第29-30页 |
| 2.5.2 运动副坐标系的设定 | 第30-32页 |
| 2.5.3 运动链的齐次坐标变换 | 第32-35页 |
| 2.5.4 综合误差模型的建立 | 第35-37页 |
| 2.6 本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 超精密五轴机床的灵敏度分析 | 第38-54页 |
| 3.1 引言 | 第38页 |
| 3.2 灵敏度的求解方法 | 第38-40页 |
| 3.3 超精密五轴机床的灵敏度分析 | 第40-44页 |
| 3.3.1 各项误差元素的灵敏度系数 | 第40-41页 |
| 3.3.2 初始位置机床的关键误差元素 | 第41-44页 |
| 3.4 关键误差参数的变化规律研究 | 第44-49页 |
| 3.5 关键误差参数对零件形状精度影响的仿真分析 | 第49-52页 |
| 3.5.1 关键误差参数对零件形状精度的影响 | 第50-51页 |
| 3.5.2 关键误差参数耦合作用对零件形状精度的影响 | 第51-52页 |
| 3.6 本章小结 | 第52-54页 |
| 第4章 零件加工误差检测实验与分析 | 第54-66页 |
| 4.1 引言 | 第54页 |
| 4.2 零件的圆度误差检测 | 第54-59页 |
| 4.2.1 检测零件与检测设备 | 第54-55页 |
| 4.2.2 检测方法与检测结果 | 第55-56页 |
| 4.2.3 检测结果与仿真结果的相关性分析 | 第56-58页 |
| 4.2.4 基于综合误差模型的零件加工精度预测 | 第58-59页 |
| 4.3 零件的表面粗糙度检测 | 第59-64页 |
| 4.3.1 检测设备与检测方法 | 第59-60页 |
| 4.3.2 检测结果与分析 | 第60-61页 |
| 4.3.3 机床的动态特性分析 | 第61-64页 |
| 4.4 减小零件加工误差的方法 | 第64-65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73页 |