基于光声机理的激光微驱动机构研究
| 致谢 | 第8-10页 |
| 摘要 | 第10-12页 |
| ABSTRACT | 第12-13页 |
| 1 绪论 | 第14-24页 |
| 1.1 微光机电系统概述 | 第14-16页 |
| 1.2 微型驱动机构的研究现状 | 第16-20页 |
| 1.2.1 非光动力微型驱动机构 | 第16-18页 |
| 1.2.2 光动力微型驱动机构 | 第18-20页 |
| 1.3 本文研究的目的、内容及创新点 | 第20-24页 |
| 2 激光光声基本原理 | 第24-32页 |
| 2.1 概述 | 第24页 |
| 2.2 基于热弹性机制的光声原理 | 第24-25页 |
| 2.3 激光热源数学建模 | 第25-26页 |
| 2.4 热弹性方程推导 | 第26-30页 |
| 2.5 光声理论方程组 | 第30-32页 |
| 3 光声谐振驱动机构(PRMA)的设计与理论研究 | 第32-54页 |
| 3.1 光声谐振臂设计与理论研究 | 第32-48页 |
| 3.1.1 谐振臂的自然频率计算 | 第32-36页 |
| 3.1.2 光声谐振臂的温度场计算仿真 | 第36-45页 |
| 3.1.3 光声谐振臂的形变场仿真 | 第45-48页 |
| 3.2 几种PRMA的理论研究 | 第48-54页 |
| 3.2.1 PRMA-1型谐振机构设计与理论研究 | 第49-50页 |
| 3.2.2 PRMA-2型谐振机构设计与理论研究 | 第50-51页 |
| 3.2.3 PRMA-3型谐振机构设计与理论研究 | 第51-54页 |
| 4 光声谐振驱动机构的实验研究 | 第54-94页 |
| 4.1 光声信号的激发与探测 | 第54-65页 |
| 4.1.1 光声信号的激发 | 第54-55页 |
| 4.1.2 光声信号的探测 | 第55-64页 |
| 4.1.3 光声信号激发与探测的实验系统 | 第64-65页 |
| 4.2 PRMA的加工制备 | 第65-67页 |
| 4.2.1 LIGA加工工艺 | 第65-66页 |
| 4.2.2 电火花线切割加工工艺 | 第66-67页 |
| 4.3 光声谐振臂实验研究 | 第67-73页 |
| 4.3.1 谐振特性实验研究 | 第67-70页 |
| 4.3.2 驱动特性实验研究 | 第70-73页 |
| 4.4 PRMA-1型光声谐振机构实验研究 | 第73-77页 |
| 4.4.1 谐振特性实验研究 | 第73-74页 |
| 4.4.2 驱动特性实验研究 | 第74-77页 |
| 4.5 PRMA-2型光声谐振机构实验研究 | 第77-83页 |
| 4.5.1 谐振特性实验研究 | 第77-79页 |
| 4.5.2 驱动特性实验研究 | 第79-83页 |
| 4.6 PRMA-3型光声谐振机构实验研究 | 第83-90页 |
| 4.6.1 实验设计与分析 | 第83-85页 |
| 4.6.2 谐振特性实验研究 | 第85-88页 |
| 4.6.3 能量-振幅关系实验研究 | 第88-90页 |
| 4.7 各类PRMA对比分析 | 第90-94页 |
| 5 光声表面波驱动马达研究 | 第94-122页 |
| 5.1 光声表面波马达研究目的与意义 | 第94-95页 |
| 5.2 光声表面波马达理论研究 | 第95-107页 |
| 5.2.1 光声表面波马达的基本原理 | 第95-96页 |
| 5.2.2 光声表面波数学建模 | 第96-98页 |
| 5.2.3 光声表面波仿真计算 | 第98-103页 |
| 5.2.4 光声表面波马达样机展望 | 第103-104页 |
| 5.2.5 光声表面波马达定子设计与仿真研究 | 第104-107页 |
| 5.3 环形马达定子的光声实验研究 | 第107-117页 |
| 5.3.1 激光超声可视化原理 | 第107-110页 |
| 5.3.2 环形马达定子激光可视化实验 | 第110-113页 |
| 5.3.3 环形马达定子的定点声波测量实验 | 第113-117页 |
| 5.4 光声表面波马达驱动实验预研 | 第117-122页 |
| 6 总结与展望 | 第122-126页 |
| 6.1 总结 | 第122-124页 |
| 6.2 展望 | 第124-126页 |
| 参考文献 | 第126-136页 |
| 博士期间第一作者发表的论文与专利 | 第136-138页 |
| 作者简介 | 第138页 |
