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基于刻蚀槽的耦合腔半导体激光器研究

致谢第5-7页
摘要第7-9页
Abstract第9-11页
1 绪论第15-36页
    1.1 引言第15-16页
    1.2 单纵模激射理论第16-23页
    1.3 波长可调谐半导体激光器第23-30页
    1.4 双波长半导体激光器第30-32页
    1.5 本论文的章节安排第32-33页
    1.6 本论文的创新点第33-36页
2 四分之一波耦合与半波耦合激光器第36-63页
    2.1 四分之一波与半波耦合激光器的研究背景第36-37页
    2.2 传输矩阵模型和时域耦合模理论第37-40页
        2.2.1 以单环为例的传输矩阵理论计算第37-38页
        2.2.2 以单环为例的时域耦合模理论计算第38-40页
    2.3 四分之一波及半波耦合器的传输矩阵分析第40-46页
        2.3.1 无源腔滤波特性第40-45页
        2.3.2 有源腔激射特性第45-46页
    2.4 四分之一波及半波耦合激光器的时域耦合模分析第46-56页
    2.5 有源耦合腔激光器的耦合相位分析第56-59页
    2.6 暗态激光器与宇称-时间对称激光器的关系第59-61页
    2.7 本章小结第61-63页
3 刻蚀槽耦合激光器的理论分析第63-92页
    3.1 刻蚀槽耦合激光器的研究背景第63-65页
    3.2 两段式刻蚀槽耦合SFP阈值以下分析第65-67页
    3.3 两段式刻蚀槽耦合SFP的模式竞争分析第67-83页
        3.3.1 模式竞争理论第67-70页
        3.3.2 无损刻蚀槽耦合激光器模式竞争分析第70-76页
        3.3.3 有损刻蚀槽耦合激光器模式竞争分析第76-83页
    3.4 三段式有损刻蚀槽耦合SFP分析第83-90页
        3.4.1 刻蚀槽损耗对激光器选模特性的影响第84-87页
        3.4.2 滤波器增益及端面反射对激光器选模特性的影响第87-90页
    3.5 本章小结第90-92页
4 刻蚀槽耦合激光器的设计与制作工艺第92-118页
    4.1 波导设计第94-96页
    4.2 刻蚀槽设计第96-102页
    4.3 实验室工艺第102-103页
    4.4 代工工艺第103-105页
    4.5 工艺优化第105-117页
        4.5.1 光刻第105-109页
        4.5.2 刻蚀第109-114页
        4.5.3 量子阱混杂第114-117页
    4.6 本章小结第117-118页
5 刻蚀槽耦合激光器测试第118-151页
    5.1 粗波分复用激光器的研究背景第118-119页
    5.2 三段式耦合刻蚀槽单纵模激光器第119-146页
        5.2.1 激光器参数第119-121页
        5.2.2 静态测试第121-135页
        5.2.3 高频测试第135-146页
    5.3 四段式耦合刻蚀槽双波长激光器第146-150页
    5.4 本章小结第150-151页
6 总结与展望第151-154页
    6.1 本文总结第151-152页
    6.2 对未来工作的展望第152-154页
参考文献第154-163页
作者简介第163-164页

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