| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 引言 | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-23页 |
| ·晶体硅常见的刻蚀方法 | 第14-18页 |
| ·机械力刻蚀方法 | 第14页 |
| ·电子束刻蚀方法 | 第14-15页 |
| ·化学刻蚀方法 | 第15-16页 |
| ·激光刻蚀方法 | 第16-18页 |
| ·液体辅助激光复合刻蚀晶体硅技术现状 | 第18-22页 |
| ·液下激光复合刻蚀晶体硅方法 | 第18-20页 |
| ·液束引导激光复合刻蚀方法 | 第20-22页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 水射流辅助激光复合刻蚀机理与试验结果的评定方法 | 第23-28页 |
| ·水射流辅助激光复合刻蚀过程分析 | 第23-26页 |
| ·激光烧蚀过程分析 | 第23-24页 |
| ·复合刻蚀方法中水射流冲击作用过程分析 | 第24-25页 |
| ·复合刻蚀方法中水射流冷却作用过程分析 | 第25-26页 |
| ·试验结果的评定方法 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 水射流工艺对复合刻蚀结果影响的试验研究 | 第28-37页 |
| ·试验设备及方法 | 第28-30页 |
| ·水射流对复合刻蚀槽体形貌影响的研究 | 第30-33页 |
| ·水射流对激光复合刻蚀晶体硅槽体深度影响的研究 | 第33-34页 |
| ·水射流对复合刻蚀槽体入.宽度影响的研究 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 激光工艺参数对复合刻蚀结果的影响及工艺优化 | 第37-48页 |
| ·激光工艺参数对复合刻蚀结果影响的研究 | 第37-42页 |
| ·试验方法 | 第37页 |
| ·激光参数对刻蚀槽体深度及截面形状影响的研究 | 第37-40页 |
| ·激光参数对刻蚀槽体表面切.边缘粗糙度影响的研究 | 第40-42页 |
| ·参数优化及其试验验证 | 第42-47页 |
| ·相关研究对象的选取 | 第42页 |
| ·试验设计方法 | 第42-44页 |
| ·数据统计及方差分析 | 第44-45页 |
| ·验证试验及最佳工艺方案设计 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 复合刻蚀方法中水射流冲击过程模拟及相关试验验证 | 第48-58页 |
| ·基于ABAQUS的水射流冲击模拟 | 第48-54页 |
| ·ABAQUS软件介绍 | 第48-49页 |
| ·光滑粒子流体动力学方法 | 第49页 |
| ·基于abaqus软件建立水射流冲击模型 | 第49-52页 |
| ·模拟结果与分析 | 第52-54页 |
| ·模拟试验验证 | 第54-57页 |
| ·试验方案设计 | 第54-55页 |
| ·试验结果及对比分析 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·工作总结 | 第58-59页 |
| ·未来展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 附录A 换热系数与射流速度关系 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 作者简介及读研期间主要科研成果 | 第67页 |
