全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 目录 | 第10-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第12-14页 |
| ·相关领域的研究现状 | 第14-22页 |
| ·论文的主要研究内容和结构安排 | 第22-24页 |
| 第2章 全息光栅曝光系统与干涉条纹相位锁定 | 第24-50页 |
| ·引言 | 第24-25页 |
| ·平面全息光栅静态曝光系统 | 第25-26页 |
| ·干涉条纹相位变化对静态曝光的影响 | 第26-34页 |
| ·扫描干涉场曝光原理与系统组成 | 第34-41页 |
| ·工作模式与干涉条纹相位锁定 | 第41-48页 |
| ·静态相位锁定与动态相位锁定对比 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第3章 移频式干涉条纹静态相位锁定 | 第50-64页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·移频式静态相位锁定方法研究 | 第50-55页 |
| ·移频式相位锁定系统的设计与实现 | 第55-61页 |
| ·实验设计与实验结果 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第4章 动态相位锁定关键方法与技术研究 | 第64-84页 |
| ·干涉条纹动态相位锁定的基本原理 | 第64-65页 |
| ·外差干涉测量方法与纳米级精度测量 | 第65-74页 |
| ·差频计算板卡资源分配与高速数据采集 | 第74-77页 |
| ·相位锁定控制系统硬件与软件设计 | 第77-82页 |
| ·本章小结 | 第82-84页 |
| 第5章 动态相位锁定控制算法研究 | 第84-108页 |
| ·引言 | 第84-85页 |
| ·动态相位锁定参考值数学模型 | 第85-96页 |
| ·控制校正算法设计与仿真 | 第96-107页 |
| ·本章小结 | 第107-108页 |
| 第6章 动态相位锁定精度分析与实验结果 | 第108-136页 |
| ·引言 | 第108页 |
| ·动态相位锁定误差分析与精度计算 | 第108-122页 |
| ·实验结果与分析 | 第122-135页 |
| ·本章小结 | 第135-136页 |
| 第7章 总结与展望 | 第136-138页 |
| ·论文工作总结 | 第136-137页 |
| ·展望 | 第137-138页 |
| 参考文献 | 第138-146页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第146-147页 |
| 指导教师及作者简介 | 第147-148页 |
| 致谢 | 第148-149页 |
