| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-10页 |
| ·研究目的及意义 | 第7-8页 |
| ·微位移调整架的国内外发展现状 | 第8-9页 |
| ·本文主要研究内容 | 第9-10页 |
| 第2章 二维调整架的总体设计方案 | 第10-19页 |
| ·设计要求及技术指标 | 第10页 |
| ·系统的组成 | 第10-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第3章 二维调整架结构设计 | 第19-37页 |
| ·器件选型及设计参数计算 | 第19-27页 |
| ·二维调整架的三维建模 | 第27-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 调整机构的有限元分析 | 第37-50页 |
| ·有限元法简介 | 第37-39页 |
| ·静力学分析理论基础 | 第39-42页 |
| ·模态分析理论基础 | 第42-44页 |
| ·θx、θy调整机构的静力学分析及模态分析 | 第44-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 测试实验与结果分析 | 第50-54页 |
| ·检测设备和方法 | 第50页 |
| ·测试结果分析 | 第50-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第6章 结论 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-57页 |