大面积均匀纳米薄膜检测技术

摘要	第1-5页
Abstract	第5-6页
目录	第6-7页
第1章 绪论	第7-14页
·引言	第7-8页
·PMMA的基本性质	第8-9页
·PMMA薄膜制备简介	第9-10页
·国内外的研究现状及主要研究内容	第10-11页
·本论文研究的目的和意义	第11-12页
·本文的主要内容及研究成果	第12-14页
第二章 超声雾化技术原理	第14-24页
·超声雾化技术发展和现状	第14页
·超声雾化技术的原理	第14-18页
·超声雾化法制备PMMA薄膜的原料要求与工艺	第18-19页
·加热源设计及温度控制	第19-23页
·本章小结	第23-24页
第三章 不同工艺参数下生成薄膜的形貌检测	第24-34页
·表征手段	第24页
·衬底温度对PMMA薄膜的形貌和沉积速率的影响	第24-27页
·衬底到端口的距离薄膜性能的影响	第27-30页
·干燥热处理对薄膜的影响	第30-32页
·本章小结	第32-34页
第四章 薄膜厚度的测量	第34-42页
·薄膜厚度的测量方法	第34-41页
·本章小结	第41-42页
第五章 总结与展望	第42-43页
·总结	第42页
·展望	第42-43页
致谢	第43-44页
参考文献	第44-45页