| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·类金刚石涂层概述 | 第10-17页 |
| ·类金刚石涂层历史背景 | 第10页 |
| ·类金刚石涂层结构 | 第10-11页 |
| ·类金刚石涂层的制备方法 | 第11-15页 |
| ·类金刚石涂层的应用 | 第15-17页 |
| ·DLC涂层应用中存在的问题与展望 | 第17页 |
| ·本文的课题来源、研究内容及技术路线 | 第17-19页 |
| 第2章 DLC涂层体系制备工艺与沉积技术原理的研究 | 第19-29页 |
| ·涂层制备工艺研究 | 第19-21页 |
| ·高硬度DLC涂层制备工艺 | 第19-20页 |
| ·中间过渡层体系的制备工艺 | 第20页 |
| ·交替涂层制备工艺 | 第20-21页 |
| ·沉积设备选用 | 第21-22页 |
| ·设备物理参数 | 第21页 |
| ·设备功能参数 | 第21-22页 |
| ·沉积涂层技术原理探究 | 第22-26页 |
| ·DLC层沉积技术原理 | 第22-24页 |
| ·交替层Cr层沉积技术原理 | 第24-25页 |
| ·过渡层TiAl、TiAlN沉积技术原理 | 第25-26页 |
| ·基体的选择及预处理 | 第26页 |
| ·DLC涂层表征方法 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 制备工艺对DLC涂层性能影响规律的研究 | 第29-49页 |
| ·工艺参数对DLC涂层形成作用机理 | 第29页 |
| ·工艺参数对DLC涂层结构与性能变化规律分析 | 第29-46页 |
| ·表面形貌变化规律分析 | 第29-33页 |
| ·涂层厚度变化规律分析 | 第33-35页 |
| ·涂层结构变化规律分析 | 第35-41页 |
| ·显微硬度变化规律分析 | 第41-42页 |
| ·界面结合性能变化规律分析 | 第42-46页 |
| ·抗磨损能力性能变化规律分析 | 第46页 |
| ·最佳工艺参数优化及高硬度涂层制备 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第4章 中间过渡层对提高DLC界面结合强度及抗磨损能力的研究 | 第49-59页 |
| ·中间过渡层对提高涂层性能的作用机理 | 第49-50页 |
| ·中间过渡层对涂层结构的影响 | 第50-53页 |
| ·拉曼光谱分析 | 第50-51页 |
| ·横截面形貌分析 | 第51-53页 |
| ·中间过渡层对涂层体系力学性能的影响 | 第53-58页 |
| ·显微硬度分析 | 第53-55页 |
| ·界面结合强度分析 | 第55-57页 |
| ·抗磨损性能分析 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 交替涂层对提高DLC界面结合强度的研究 | 第59-68页 |
| ·交替涂层作用机理 | 第59页 |
| ·交替涂层结构分析 | 第59-62页 |
| ·截面形貌分析 | 第59-60页 |
| ·拉曼光谱与XPS分析 | 第60-62页 |
| ·交替涂层对硬度影响作用 | 第62页 |
| ·交替涂层对改善界面结合强度作用机理 | 第62-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第6章 总结与展望 | 第68-71页 |
| ·研究总结 | 第68-69页 |
| ·研究展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 附录：硕士期间发表论文情况 | 第76页 |