| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 符号说明 | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-40页 |
| ·纳米技术及纳米尺度效应 | 第13-14页 |
| ·纳米结构的TEM/SEM原位机械加载 | 第14-28页 |
| ·基于AFM/探针技术的纳米结构机械加载 | 第15-18页 |
| ·利用MEMS对纳米结构进行机械加载 | 第18-25页 |
| ·TEM/SEM原位表征实验方法 | 第25-28页 |
| ·纳米操纵及组装技术 | 第28-33页 |
| ·纳米压阻效应 | 第33-37页 |
| ·半导体压阻效应的能谷理论 | 第33-35页 |
| ·半导体纳米结构的巨压阻效应 | 第35-37页 |
| ·本论文的研究内容 | 第37-40页 |
| 第二章 纳米结构TEM/SEM原位静电拉伸器件的设计和制作 | 第40-61页 |
| ·工艺集成纳米结构静电拉伸器件 | 第40-50页 |
| ·静电梳齿驱动原理 | 第41-42页 |
| ·工艺集成纳米结构静电拉伸器件设计 | 第42-45页 |
| ·工艺集成单晶硅纳米梁静电拉伸器件制作流程 | 第45-46页 |
| ·工艺集成单晶硅纳米线静电拉伸器件工艺制作 | 第46-50页 |
| ·适用不同纳米线的静电拉伸器件 | 第50-56页 |
| ·适用不同纳米线的静电拉伸器件设计 | 第50-52页 |
| ·适用不同纳米线静电拉伸器件的制作流程 | 第52-54页 |
| ·不带纳米线的原位静电拉伸器件的性能测试 | 第54-56页 |
| ·硅基引线基板的设计和制作 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第三章 纳米结构的TEM/SEM原位静电拉伸实验及结果 | 第61-94页 |
| ·单晶硅纳米梁TEM原位静电拉伸表征晶格行为 | 第61-74页 |
| ·选区电子衍射测量晶格常数的原理 | 第62-64页 |
| ·TEM相机常数的标定 | 第64-66页 |
| ·单晶硅纳米梁在拉伸过程中的晶格行为 | 第66-70页 |
| ·晶格常数测量的误差分析 | 第70-74页 |
| ·纳米线的SEM原位静电拉伸实验 | 第74-90页 |
| ·纳米线的操纵和组装 | 第74-79页 |
| ·纳米线SEM原位静电拉伸实验原理及配置 | 第79-80页 |
| ·铜纳米线的SEM原位静电拉伸实验 | 第80-85页 |
| ·碳化硅纳米线的SEM原位静电拉伸实验 | 第85-90页 |
| ·纳米结构原位静电拉伸器件的缺陷及改进方案 | 第90-92页 |
| ·本章小结 | 第92-94页 |
| 第四章 TEM双倾台及热驱动原位拉伸芯片设计 | 第94-108页 |
| ·热驱动器原位拉伸芯片及TEM双倾台的特点 | 第94-95页 |
| ·热驱动原位拉伸芯片设计 | 第95-104页 |
| ·热驱动基本原理 | 第95-97页 |
| ·热驱动原位拉伸芯片结构设计 | 第97-100页 |
| ·热驱动原位拉伸芯片软件模拟优化 | 第100-104页 |
| ·热驱动原位拉伸器件的工艺流程 | 第104-106页 |
| ·单晶硅纳米梁/纳米线热驱动原位拉伸器件的工艺 | 第104-105页 |
| ·适用不同纳米线热驱动原位拉伸器件的工艺 | 第105-106页 |
| ·本章小结 | 第106-108页 |
| 第五章 总结与展望 | 第108-111页 |
| ·对本论文的总结 | 第108-109页 |
| ·展望 | 第109-111页 |
| 参考文献 | 第111-115页 |
| 致谢 | 第115-116页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第116页 |