| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| ·引言 | 第11-13页 |
| ·Cr 基硬质薄膜及其发展 | 第13-17页 |
| ·CrN 薄膜及其研究现状 | 第14-15页 |
| ·CrAlN 薄膜及其研究现状 | 第15-16页 |
| ·CrTiAlN 薄膜及其研究现状 | 第16-17页 |
| ·闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术及其发展 | 第17-19页 |
| ·研究课题的提出 | 第19-21页 |
| ·研究目的和意义 | 第19页 |
| ·研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 实验与检测方法 | 第21-37页 |
| ·实验设备 | 第21-22页 |
| ·实验材料 | 第22-24页 |
| ·基体材料及其预处理 | 第22-24页 |
| ·溅射源靶材料 | 第24页 |
| ·摩擦磨损试验对磨钢球材料 | 第24页 |
| ·实验方法与制备工艺 | 第24-27页 |
| ·薄膜的基本性能检测 | 第27-33页 |
| ·薄膜厚度的测量 | 第27-29页 |
| ·膜-基结合强度的评定 | 第29-32页 |
| ·薄膜显微硬度的测量 | 第32-33页 |
| ·薄膜成分、组织与微观形貌的分析 | 第33-35页 |
| ·薄膜的 X 射线衍射分析 | 第34页 |
| ·表面、断面形貌以及化学成分分析 | 第34-35页 |
| ·薄膜的摩擦磨损性能 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 Cr 基硬质薄膜的组织结构和性能研究 | 第37-49页 |
| ·工艺参数对过渡层 CrN 的影响 | 第37-41页 |
| ·基体偏压对 CrN 基本性能的影响 | 第37-38页 |
| ·OEM 值对 CrN 基本性能的影响 | 第38-40页 |
| ·靶电流对 CrN 基本性能的影响 | 第40-41页 |
| ·Al、Ti 元素对 Cr 基硬质薄膜的组织、微观结构的影响 | 第41-44页 |
| ·Al、Ti 元素对 Cr 基硬质薄膜基本性能的影响 | 第44-48页 |
| ·不同组元薄膜的显微硬度 | 第45-46页 |
| ·不同组元薄膜的磨损特性 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 Al、Ti 元素对 Cr 基硬质薄膜高温摩擦性能的影响 | 第49-67页 |
| ·磨损的基本原理及其影响因素 | 第49-52页 |
| ·磨损的基本原理 | 第49-51页 |
| ·磨损的影响因素 | 第51-52页 |
| ·磨损试验设计 | 第52-53页 |
| ·磨损试验结果及分析 | 第53-66页 |
| ·摩擦系数 | 第53-55页 |
| ·磨损率 | 第55-57页 |
| ·磨损试样表面微观形貌及成分分析 | 第57-62页 |
| ·对磨球表面微观形貌及成分分析 | 第62-64页 |
| ·影响高温磨损试验的关键因素 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 Cr 基硬质薄膜与不同材料对磨的摩擦性能研究 | 第67-77页 |
| ·对磨球材料的影响 | 第67-71页 |
| ·试验参数 | 第67-68页 |
| ·试验结果分析 | 第68-71页 |
| ·摩擦介质的影响 | 第71-75页 |
| ·试验参数 | 第71-72页 |
| ·试验结果分析 | 第72-74页 |
| ·有润滑的磨损理论分析 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-77页 |
| 总结与展望 | 第77-80页 |
| 总结 | 第77-78页 |
| 展望 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-85页 |
| 攻读博士/硕士学位期间取得的研究成果 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 附件 | 第87页 |
