基于异质双周期结构光子晶体“介观压光”效应加速度计仿真设计
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-17页 |
| ·课题研究的背景、目的和意义 | 第12-13页 |
| ·国内外研究的现状 | 第13-15页 |
| ·微电子机械系统 | 第13-14页 |
| ·MEMS 加速度计行业前景 | 第14页 |
| ·微加速度计发展趋势 | 第14-15页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 麦克斯韦方程组与电磁波 | 第17-27页 |
| ·麦克斯韦方程组及其物理含义 | 第17-18页 |
| ·电磁波的性质和传播特性 | 第18-24页 |
| ·电磁波的产生 | 第18-20页 |
| ·电磁波的性质 | 第20-21页 |
| ·电磁波的能量 | 第21-23页 |
| ·电磁波的传播特性 | 第23-24页 |
| ·电磁波波谱 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 光子晶体及其应用 | 第27-38页 |
| ·光子晶体的含义、性质及其制备方法 | 第27-29页 |
| ·光子晶体的分析方法 | 第29-33页 |
| ·平面波展开方法 | 第29-30页 |
| ·等效转移传输矩阵方法 | 第30-32页 |
| ·时域差分或有限差分方法 | 第32页 |
| ·多重散射矩阵方法 | 第32-33页 |
| ·光子晶体的应用 | 第33-35页 |
| ·光子晶体波导 | 第33-34页 |
| ·高发射率光子晶体微波天线 | 第34页 |
| ·光子晶体传感器 | 第34-35页 |
| ·新型光子晶体结构简介与应用 | 第35-37页 |
| ·一维异质双周期结构光子晶体 | 第35-36页 |
| ·负折射率光子晶体 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 微传感器及加速度计 | 第38-49页 |
| ·微传感器及 MEMS 技术 | 第38-43页 |
| ·概述 | 第38-39页 |
| ·MEMS 技术简介 | 第39-43页 |
| ·微加速度计的结构设计及其应用发展前景 | 第43-48页 |
| ·加速度计的分类及结构设计 | 第43-47页 |
| ·加速度计的应用发展前景 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 介观效应及应用 | 第49-56页 |
| ·介观压阻效应 | 第49-51页 |
| ·介观压光效应 | 第51-52页 |
| ·几种基于介观效应的微传感器简介 | 第52-54页 |
| ·介观压阻型硅微压力传感器 | 第52-53页 |
| ·基于介观压阻效应的硅微加速度计 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第六章 异质双周期结构光子晶体加速度计仿真设计 | 第56-65页 |
| ·异质双周期光子晶体光学特性 | 第57-59页 |
| ·加速度计的结构设计及参数计算 | 第59-61页 |
| ·加速度传感器结构仿真 | 第61-62页 |
| ·加速度传感器模型分析 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第七章 总结与展望 | 第65-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
