熔石英元件离子束抛光物理规律与激光损伤特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| ·课题背景 | 第9-12页 |
| ·离子束抛光的研究进展 | 第12-13页 |
| ·论文研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 光学材料的离子束抛光研究 | 第14-22页 |
| ·国内外对光学元件传统抛光技术研究 | 第14-20页 |
| ·熔石英表面抛光设备 | 第20-21页 |
| ·小结 | 第21-22页 |
| 第三章 SRIM模拟优化离子束刻蚀熔石英元件参数 | 第22-30页 |
| ·Sigmund溅射理论介绍 | 第22-24页 |
| ·SRIM仿真分析条件 | 第24页 |
| ·溅射产额与离子束参数的关系 | 第24-26页 |
| ·刻蚀损伤深度分析 | 第26-27页 |
| ·离子束刻蚀过程的三维物理图像 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第四章 Ar离子束抛光熔石英表面特性的研究 | 第30-48页 |
| ·实验设备及实验参数 | 第30-32页 |
| ·Ar离子抛光熔石英实验方法 | 第30-31页 |
| ·Ar离子抛光熔石英实验条件 | 第31页 |
| ·样品表征 | 第31-32页 |
| ·实验结果与讨论 | 第32-37页 |
| ·样品污染分析 | 第37-47页 |
| ·受污染样品表面形貌 | 第37-39页 |
| ·受污染样品光学特性 | 第39-41页 |
| ·污染物成分分析 | 第41-45页 |
| ·电子科技大学设备实验污染成分 | 第41-43页 |
| ·绵阳九院设备实验污染成分 | 第43-45页 |
| ·受污染样品损伤阈值分析 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 总结与展望 | 第48-50页 |
| ·总结 | 第48页 |
| ·展望 | 第48-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-56页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第56页 |
