| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·论文的背景 | 第7-8页 |
| ·单晶锗材料的性质、制备方法及应用 | 第8-11页 |
| ·单晶锗片的高速机械化学研磨技术 | 第11-13页 |
| ·固着磨料高速机械化学研磨的国内外研究状况 | 第13-15页 |
| 第二章 固着磨料加工锗的机理及其微观去除原理研究 | 第15-33页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·高速机械化学研磨加工原理 | 第15-16页 |
| ·工件与研磨盘的相对运动分析 | 第16-20页 |
| ·锗片受力分析 | 第20-22页 |
| ·单颗磨粒的切削作用分析 | 第22-28页 |
| ·微裂纹产生机理 | 第28-30页 |
| ·固着磨料机械化学材料去除原理 | 第30-33页 |
| 第三章 单晶锗片研磨试验 | 第33-42页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·试验设备及工件的制备 | 第33-39页 |
| ·试验方案设计 | 第39-42页 |
| 第四章 试验结果与分析 | 第42-52页 |
| ·试验结果 | 第42-45页 |
| ·试验结果分析 | 第45-51页 |
| ·结论 | 第51-52页 |
| 第五章 结论与展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |