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基于旋转行波的超声抛光振子理论及实验研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-21页
   ·引言第8页
   ·超声加工技术概述第8-16页
     ·超声加工的特点和应用第9-11页
     ·超声加工国内外的研究现状第11-15页
     ·超声复合加工技术简述第15-16页
   ·超声抛光技术的概况第16-19页
   ·课题研究的主要内容第19-21页
2 压电式超声抛光振子及其复合抛光方法第21-33页
   ·压电驱动技术的概述第21-23页
     ·逆压电效应和压电方程第21-22页
     ·压电振子的工作原理第22-23页
   ·椭圆超声振动抛光的基本原理第23-24页
   ·旋转行波超声抛光的原理第24-29页
   ·抛光垫的种类和性能第29-30页
   ·抛光垫与被抛光工件表面的接触力学模型第30-32页
   ·小结第32-33页
3 行波超声抛光压电振子的结构分析及模态设计第33-42页
   ·引言第33页
   ·压电振子的结构设计第33-35页
     ·环形结构设计第33-34页
     ·振子工作面上的凸齿结构第34页
     ·振子支撑部分设计第34页
     ·振子装夹圆柄的设计第34-35页
     ·振型的选择第35页
   ·基于有限元法的振子模态分析第35-38页
   ·振子结构参数的确定第38-41页
   ·小结第41-42页
4 超声抛光压电振子振型一致性与装夹圆柄的分析第42-53页
   ·引言第42页
   ·振子面外弯曲振型一致性分析第42-47页
   ·振子表面质点波峰处径向振幅分布第47-48页
   ·振子装夹圆柄的模态分析第48-51页
   ·小结第51-53页
5 超声抛光振子的实验研究第53-67页
   ·引言第53页
   ·抛光振子的模态测试第53-59页
     ·实验仪器和测试原理第53-54页
     ·抛光振子的谐振频率测试第54-55页
     ·谐振状态下振子的振型测试第55-58页
     ·谐振频率下径向振幅分布第58-59页
   ·抛光垫材料对振子凸齿振动的影响分析第59-62页
   ·超声抛光振子的性能测试第62-65页
   ·小结第65-67页
6 结论第67-68页
参考文献第68-70页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第70-71页
致谢第71页

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