圆筒内表面高压脉冲辉光放电及离子注入机理研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题背景 | 第9页 |
| ·圆筒内表面改性研究现状 | 第9-13页 |
| ·内表面改性试验研究现状 | 第9-11页 |
| ·内表面改性理论研究现状 | 第11-13页 |
| ·高压脉冲辉光放电及研究现状 | 第13-16页 |
| ·高压脉冲辉光放电的产生和维持 | 第13-15页 |
| ·高压脉冲辉光放电表面改性研究现状 | 第15-16页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 实验材料及实验方法 | 第17-25页 |
| ·实验材料及试样制备 | 第17页 |
| ·实验设备 | 第17-19页 |
| ·实验方法 | 第19-22页 |
| ·实验过程 | 第19-20页 |
| ·静电探针测试 | 第20页 |
| ·发射光谱测试 | 第20-21页 |
| ·俄歇能谱测试 | 第21-22页 |
| ·实验方案 | 第22-24页 |
| ·静电探针测试实验方案 | 第22-24页 |
| ·光谱测试实验方案 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 探针测试与筒内放电规律研究 | 第25-38页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·典型探针试验曲线及分析 | 第25-28页 |
| ·典型探针曲线及分析 | 第25-27页 |
| ·不同端部形式对实验结果的影响 | 第27-28页 |
| ·各实验参数对放电现象的影响及评价 | 第28-36页 |
| ·气体种类及压强对放电现象的影响 | 第28-31页 |
| ·电源参数对放电现象的影响 | 第31-36页 |
| ·辉光放电的维持 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 光谱测试与放电机理研究 | 第38-48页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·发射光谱测试原理 | 第38-40页 |
| ·粒子温度计算 | 第38-39页 |
| ·电子密度的测量 | 第39-40页 |
| ·光谱测试结果分析 | 第40-47页 |
| ·Ar 等离子体发射光谱分析 | 第42-45页 |
| ·N 等离子体发射光谱分析 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 注入实验及注入深度分析 | 第48-53页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·注入实验方案的确定 | 第48-49页 |
| ·注入实验结果及分析 | 第49-52页 |
| ·俄歇电子能谱原理 | 第49页 |
| ·实验结果分析 | 第49-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
