高精度膜厚控制仪的设计与研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-6页
目录	第6-7页
第一章 绪论	第7-10页
·光学薄膜厚度监控研究的现状	第7-8页
·课题来源及研究内容	第8-10页
第二章 膜厚控制仪的原理和总体设计方案	第10-16页
·膜厚控制仪的研制目的和研究内容	第10页
·膜厚控制系统监控原理	第10-11页
·膜厚监控仪的系统设计	第11-16页
第三章 膜厚控制仪的数据采集与数据处理	第16-24页
·膜厚监控仪的系统控制流程	第16页
·数据采集系统	第16-19页
·PCI-6111数据采集卡	第19页
·数据采集系统的数据处理	第19-24页
第四章 膜厚控制仪监控系统的软件设计	第24-32页
·VC++7.0的选择依据及其监控系统的体系框架	第24-26页
·监控系统的多线程采集与动态存储	第26-27页
·VC++与MATLAB的编程接口	第27-29页
·膜厚监控系统界面设计	第29-32页
第五章 膜厚控制仪的系统调试与实验结果分析	第32-43页
·PCL-6111采集卡的D/A与A/D校正	第32-33页
·PCL-6111数据采集卡的基地址设定	第33页
·关于系统软件的测试	第33-34页
·监控实验及其分析	第34-38页
·薄膜设计实验及其影响膜厚监控的因素分析	第38-43页
结论	第43-44页
致谢	第44-45页
参考文献	第45-46页