朗缪尔探针诊断系统的研制及其应用
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| ·低温等离子体概述 | 第9-12页 |
| ·低温等离子体诊断的主要方法 | 第12-13页 |
| ·朗缪尔探针诊断系统的发展现状 | 第13-15页 |
| ·本文的主要内容 | 第15-16页 |
| 2 静电探针原理 | 第16-29页 |
| ·概述 | 第16-19页 |
| ·单探针原理 | 第19-24页 |
| ·双探针原理 | 第24-27页 |
| ·探针特性曲线的影响因素 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 系统硬件设计 | 第29-50页 |
| ·系统结构及设计指标 | 第29-30页 |
| ·采集卡 | 第30-37页 |
| ·扫描电源电路 | 第37-42页 |
| ·电压检测电路 | 第42-43页 |
| ·电流检测电路 | 第43-47页 |
| ·硬件抗干扰环节 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 4 系统软件设计 | 第50-56页 |
| ·系统软件结构 | 第50页 |
| ·应用软件选择 | 第50-53页 |
| ·程序流程 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5 装置应用及结果分析 | 第56-67页 |
| ·装置调试及验证 | 第56-59页 |
| ·装置应用 | 第59-62页 |
| ·结果分析 | 第62-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 6 总结与展望 | 第67-69页 |
| ·总结 | 第67页 |
| ·展望 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 附录 系统硬件电路图 | 第75页 |
