过渡金属掺杂AlN薄膜的制备及其特性研究

摘要	第1-8页
Abstract	第8-14页
第一章 引言	第14-20页
·薄膜材料的研究进展	第14页
·氮化铝薄膜概述	第14-18页
·氮化铝的性质	第15页
·氮化铝掺杂薄膜的优点及应用	第15-16页
·掺杂氮化铝薄膜的研究现状	第16-17页
·研究意义与主要研究内容	第17-18页
·薄膜制备方法	第18-19页
·薄膜表征方法	第19-20页
第二章 氮化铝薄膜的制备及讨论	第20-25页
·以氮化铝陶瓷靶为靶材制备氮化铝薄膜	第20-22页
·制备条件	第20-21页
·样品表征	第21-22页
·射频磁控溅射方法制备氮化铝薄膜	第22-25页
·制备条件	第22-23页
·样品表征	第23-25页
第三章 非磁性过渡金属掺杂氮化铝薄膜	第25-37页
·钛掺杂氮化铝薄膜	第25-30页
·制备条件	第25-26页
·样品表征	第26-30页
·锌掺杂氮化铝薄膜	第30-37页
·制备条件	第30-31页
·样品表征	第31-37页
第四章 磁性过渡金属掺杂氮化铝薄膜	第37-45页
·锰掺杂氮化铝薄膜	第37-41页
·制备条件	第37-38页
·样品表征	第38-41页
·铁掺杂氮化铝薄膜	第41-45页
·制备条件	第41页
·样品表征	第41-45页
第五章 结论	第45-47页
参考文献	第47-51页
致谢	第51-52页
附录A:攻读硕士期间发表的文章	第52-53页