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基于PSD的微距测量系统研究

摘要第1-3页
ABSTRACT第3-4页
目录第4-6页
第一章 绪论第6-11页
   ·微位移激光测量概述第6-7页
   ·激光测距方法现状第7-8页
   ·测量系统的技术指标第8-9页
   ·本文主要工作第9页
 参考文献第9-11页
第二章 微距测量系统方案设计第11-16页
   ·光学三角法第11-14页
   ·测量系统的实现第14-15页
   ·小结第15页
 参考文献第15-16页
第三章 位置敏感探测器第16-26页
   ·位置敏感探测器介绍第16-18页
   ·位置敏感探测器线性度研究第18-24页
     ·PSD网络模型第19-20页
     ·线性度测量实验与结果第20-24页
   ·小结第24页
 参考文献第24-26页
第四章 光学系统设计第26-48页
   ·入射光源第26-29页
     ·激光光源的准直及光纤耦合第26-29页
     ·光斑的光强分布及对测量的影响第29页
   ·接收光学系统设计第29-44页
     ·几种象差对系统的影响第30页
     ·光学系统基本参数的确定第30-41页
     ·物像位移关系第41-42页
     ·光能计算第42-44页
   ·光学系统机械设计第44-46页
     ·光学零件固紧设计第44-45页
     ·PSD接收部分结构设计第45-46页
     ·光学系统壳体设计第46页
   ·小结第46-47页
 参考文献第47-48页
第五章 PSD信号处理系统设计第48-57页
   ·PSD信号处理技术研究第48-50页
     ·基本的PSD信号处理方法第48-49页
     ·消除背景和暗电流的几种措施第49-50页
   ·基于单片机的PSD信号处理系统设计第50-53页
   ·软件设计第53-56页
   ·小结第56页
 参考文献第56-57页
第六章 实验研究第57-67页
   ·影响测量的各种因素第57-60页
   ·系统的标定第60-63页
   ·对不同平面的测试研究第63-66页
   ·小结第66页
 参考文献第66-67页
第七章 全文总结第67-69页
硕士期间发表的论文第69-70页
致谢第70-71页

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