| 第一章 绪论 | 第1-14页 |
| ·研究意义 | 第7-8页 |
| ·SiC材料特性及其应用前景 | 第8-10页 |
| ·SiC材料常见制备方法 | 第10-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·所做工作 | 第13-14页 |
| 第二章 实验原理 | 第14-20页 |
| ·脉冲激光烧蚀沉积原理 | 第14-17页 |
| ·退火原理 | 第17-20页 |
| 第三章 实验方法 | 第20-27页 |
| ·实验装置 | 第20-23页 |
| ·实验条件 | 第23-24页 |
| ·实验检测技术 | 第24-27页 |
| 第四章 实验结果与分析 | 第27-44页 |
| ·SiC薄膜PLD法制备及其真空热退火晶化 | 第27-34页 |
| ·激光退火晶化 | 第34-38页 |
| ·金属Fe诱导SiC低温定向晶化 | 第38-44页 |
| 第五章 结束语 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 致谢 | 第49页 |