高气压脉冲DBD等离子体合成功能材料及其性能研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 文献综述 | 第8-15页 |
| ·脉冲DBD 放电原理 | 第8-10页 |
| ·脉冲DBD 技术的实验研究及应用 | 第10-11页 |
| ·脉冲DBD 合成功能材料的特点 | 第11-12页 |
| ·本文的选题研究背景 | 第12-13页 |
| 参考文献 | 第13-15页 |
| 第二章 高气压脉冲DBD 放电的物理过程 | 第15-28页 |
| ·脉冲等离子体沉积的特点 | 第15页 |
| ·脉冲DBD 实验装置简述 | 第15-17页 |
| ·高气压均匀脉冲DBD 放电的获得 | 第17-19页 |
| ·高气压脉冲DBD 放电基本物理参数的测定 | 第19-22页 |
| ·高气压脉冲DBD 放电过程中化学反应的分析 | 第22-25页 |
| ·本章小结 | 第25页 |
| 参考文献 | 第25-28页 |
| 第三章 薄膜的性能检测和表征 | 第28-37页 |
| ·表面状态分析 | 第28-31页 |
| ·表面结构分析 | 第31-34页 |
| ·表面形貌分析 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36页 |
| 参考文献 | 第36-37页 |
| 第四章 高气压脉冲等离子体功能薄膜合成 | 第37-55页 |
| ·实验装置 | 第37-38页 |
| ·羧基功能膜合成 | 第38-47页 |
| ·薄膜稳定性研究 | 第47-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-55页 |
| 第五章 脉冲等离子体放电参数的测量 | 第55-66页 |
| ·脉冲放电的波形 | 第55-56页 |
| ·脉冲放电的李萨尔曲线 | 第56-62页 |
| ·脉冲放电电子温度的光谱测量 | 第62-65页 |
| ·本章小结 | 第65页 |
| 参考文献 | 第65-66页 |
| 第六章 总结 | 第66-69页 |
| ·本文主要研究成果与结论 | 第66-67页 |
| ·进一步工作的展望 | 第67页 |
| ·本文的创新之处 | 第67-69页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
