等离子体增强化学气相沉积法制备类金刚石膜及其纳米力学性能研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 1 引言 | 第11-21页 |
| ·前言 | 第11-12页 |
| ·DLC膜的制备及应用 | 第12-18页 |
| ·DLC膜的制备 | 第12-14页 |
| ·DLC膜的工程应用 | 第14-18页 |
| ·DLC膜的纳米力学研究现状 | 第18-19页 |
| ·本课题的意义及完成的主要工作 | 第19-21页 |
| 2 DLC膜的制备和测试方法 | 第21-29页 |
| ·PECVD方法制备DLC膜 | 第21-23页 |
| ·衬底材料及实验气体 | 第21页 |
| ·PECVD系统简介 | 第21-22页 |
| ·DLC膜的制备过程 | 第22-23页 |
| ·实验参数控制 | 第23页 |
| ·DLC膜纳米力学性能的测试方法 | 第23-29页 |
| ·原子力显微镜 | 第23-25页 |
| ·纳米压痕仪 | 第25-28页 |
| ·表面轮廓仪 | 第28-29页 |
| 3 沉积压力对DLC膜纳米力学性能的影响 | 第29-37页 |
| ·DLC膜的纳米摩擦学性能分析 | 第29-34页 |
| ·DLC膜的纳米力学性能分析 | 第34-37页 |
| 4 沉积时间对DLC膜纳米力学性能的影响 | 第37-50页 |
| ·DLC膜的纳米摩擦学性能分析 | 第38-46页 |
| ·DLC膜的纳米力学性能分析 | 第46-50页 |
| 5 射频功率对DLC膜纳米力学性能的影响 | 第50-62页 |
| ·DLC膜的纳米摩擦学性能分析 | 第50-58页 |
| ·DLC膜的纳米力学性能分析 | 第58-62页 |
| 6 偏置电压对DLC膜纳米力学性能的影响 | 第62-70页 |
| ·DLC膜的纳米摩擦学性能分析 | 第62-67页 |
| ·DLC膜的纳米力学性能分析 | 第67-70页 |
| 7 结论与展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
| 附录 A | 第74-75页 |
| 附录 B | 第75-77页 |
| 作者简历 | 第77-79页 |
| 学位论文数据集 | 第79页 |
