| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·课题背景 | 第9页 |
| ·铁电材料概述 | 第9-12页 |
| ·本论文的选题依据 | 第12-13页 |
| ·本论文的内容安排 | 第13-15页 |
| 第二章 铁电薄膜的制备方法、应用及研究中存在的问题 | 第15-25页 |
| ·铁电薄膜材料的制备方法 | 第15-18页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第15-16页 |
| ·溅射法 | 第16-17页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD)法 | 第17-18页 |
| ·金属有机化学气相沉积(MOCVD)法 | 第18页 |
| ·铁电薄膜的应用 | 第18-22页 |
| ·铁电薄膜在存储器中的应用 | 第19-21页 |
| ·铁电薄膜用于介质移相器 | 第21页 |
| ·铁电薄膜用于热释电红外探测器 | 第21页 |
| ·铁电薄膜用于声表面波器件 | 第21-22页 |
| ·铁电薄膜材料存在的问题 | 第22-25页 |
| 第三章 铁电薄膜的性质和影响电滞回线的因素 | 第25-37页 |
| ·铁电薄膜的性质 | 第25-29页 |
| ·铁电性 | 第25-26页 |
| ·压电性 | 第26-27页 |
| ·铁电相变与居里-外斯定律 | 第27-28页 |
| ·热释电性 | 第28页 |
| ·介电性 | 第28-29页 |
| ·铁电薄膜电滞回线的影响因素 | 第29-37页 |
| ·组成对铁电薄膜电滞回线的影响 | 第29-30页 |
| ·热处理条件对铁电薄膜电滞回线的影响 | 第30-33页 |
| ·晶粒尺寸和膜厚对铁电薄膜电滞回线的影响 | 第33-34页 |
| ·电极对铁电薄膜电滞回线的影响 | 第34页 |
| ·测试条件对铁电薄膜电滞回线的影响 | 第34-37页 |
| 第四章 铁电薄膜电滞回线模型的建立与分析 | 第37-55页 |
| ·引言 | 第37-38页 |
| ·铁电薄膜的极化反转机理 | 第38-39页 |
| ·电滞回线的典型模型 | 第39-41页 |
| ·Miller模型 | 第39-40页 |
| ·特征值模型 | 第40-41页 |
| ·铁电薄膜电滞回线模型的建立 | 第41-46页 |
| ·铁电薄膜电容的物理模型 | 第41-44页 |
| ·选取概率函数 | 第44-46页 |
| ·铁电薄膜电滞回线模型的数学表达式 | 第46页 |
| ·模型验证与分析 | 第46-53页 |
| ·掺杂对铁电薄膜电滞回线的影响 | 第46-47页 |
| ·退火温度和退火氛围对铁电薄膜电滞回线的影响 | 第47-50页 |
| ·反转电压与铁电薄膜电滞回线的关系 | 第50-51页 |
| ·电极与铁电薄膜电滞回线的关系 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 结论 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第62页 |