| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-29页 |
| ·前言 | 第11-12页 |
| ·平面光波导制备工艺简介 | 第12-18页 |
| ·激光直写技术制备三维光波导的研究进展 | 第18-24页 |
| ·本课题的来源以及应用前景 | 第24-25页 |
| ·本文的研究内容、技术路线、技术关键及创新点 | 第25-29页 |
| 2 SiO_/TiO_2溶胶-凝胶材料的合成工艺研究 | 第29-47页 |
| ·前言 | 第29页 |
| ·实验材料、仪器及装置 | 第29-31页 |
| ·溶胶-凝胶基本化学反应过程 | 第31-37页 |
| ·SiO_2/TiO_2 溶胶-凝胶材料的合成 | 第37-43页 |
| ·SiO_2/TiO_2 溶胶-凝胶的性能评价 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 3 SiO_2/TiO_2溶胶-凝胶薄膜的制备工艺及性能研究 | 第47-61页 |
| ·前言 | 第47页 |
| ·提拉制膜实验装置、方法及原理 | 第47-49页 |
| ·SiO_2/TiO_2 溶胶-凝胶薄膜的制备 | 第49-56页 |
| ·SiO_2/TiO_2 溶胶-凝胶薄膜性能研究 | 第56-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 4 SiO_2/TiO_2平板光波导的制备及性能表征 | 第61-72页 |
| ·前言 | 第61页 |
| ·SiO_2/TiO_2 平板光波导结构设计 | 第61-65页 |
| ·SiO_2/TiO_2 平板光波导的制备 | 第65-68页 |
| ·SiO_2/TiO_2 平板光波导性能表征 | 第68-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 5 激光处理SiO_2/TiO_2芯层薄膜制备条形光波导的过程与机理 | 第72-94页 |
| ·前言 | 第72页 |
| ·实验装置 | 第72-73页 |
| ·SiO_2/TiO_2 芯层薄膜的激光处理工艺 | 第73-85页 |
| ·SiO_2/TiO_2 芯层薄膜的激光处理结果表征 | 第85-91页 |
| ·激光处理薄膜的机理 | 第91-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 6 激光直写SiO/TiO_2条形光波导的成型机理及性能分析 | 第94-120页 |
| ·前言 | 第94页 |
| ·SiO_2/TiO_2 条形光波导成型 | 第94-106页 |
| ·SiO_2/TiO_2 条形光波导的模场分析 | 第106-113页 |
| ·SiO_2/TiO_2 条形光波导的传输损耗 | 第113-118页 |
| ·本章小结 | 第118-120页 |
| 7 总结与展望 | 第120-123页 |
| ·主要结论 | 第120-121页 |
| ·问题与展望 | 第121-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 参考文献 | 第124-135页 |
| 附录1 攻读学位期间发表的论文目录 | 第135页 |
