| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·前言 | 第9页 |
| ·光波导材料与成型技术 | 第9-14页 |
| ·激光直写成型三维光波导的研究概述 | 第14-18页 |
| ·本课题研究内容和技术方案 | 第18-20页 |
| 2 实验材料、方法和设备 | 第20-29页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·溶胶-凝胶的合成 | 第20-22页 |
| ·SiO_2/TiO_2 溶胶-凝胶薄膜的制备 | 第22-24页 |
| ·激光直写成型波导的方法和设备 | 第24-26页 |
| ·分析测试方法 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 SiO_2/TiO_2 平板波导的制备和性能研究 | 第29-39页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·SiO_2/TiO_2 溶胶-凝胶薄膜制备工艺研究 | 第29-31页 |
| ·SiO_2/TiO_2 溶胶-凝胶薄膜的性能研究 | 第31-33页 |
| ·SiO_2/TiO_2 平板波导的设计与制备 | 第33-37页 |
| ·SiO_2/TiO_2 平板波导的通光测试 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 SiO_2/TiO_2 条形波导的激光直写成型工艺研究 | 第39-50页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·激光直写工艺参数对薄膜收缩率的影响 | 第39-41页 |
| ·激光直写工艺参数的优化 | 第41-47页 |
| ·化学腐蚀成型工艺研究 | 第47-48页 |
| ·激光直写快速制造光无源器件的实例 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 5 条形光波导的性能分析 | 第50-62页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·波导的表面形态及成分、结构分析 | 第50-54页 |
| ·条形波导的模场分析 | 第54-58页 |
| ·条形波导的传输损耗 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 6 主要结论及今后的工作建议 | 第62-64页 |
| ·主要结论 | 第62-63页 |
| ·今后的工作建议 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 附录 1 攻读硕士期间发表的论文 | 第70页 |
