工艺参数对TVS器件电性能的影响
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·电压瞬变和浪涌 | 第8-9页 |
| ·电压瞬变和浪涌的防护 | 第9-11页 |
| ·瞬变电压抑制二极管（TVS） | 第11-16页 |
| ·TVS 二极管的特点 | 第12页 |
| ·TVS 二极管的电参数 | 第12-13页 |
| ·TVS 二极管保护电路的工作原理 | 第13-14页 |
| ·TVS 的选用及典型应用 | 第14-16页 |
| 2 TVS 二极管电参数的理论分析 | 第16-22页 |
| ·TVS 的直流特性 | 第16-19页 |
| ·TVS 击穿电压的理论分析 | 第19-22页 |
| ·雪崩击穿的条件 | 第20页 |
| ·雪崩击穿电压的经验公式 | 第20-22页 |
| 3 制备工艺 | 第22-30页 |
| ·制备工艺概述 | 第22页 |
| ·工艺原理 | 第22-30页 |
| ·原料检验 | 第22-23页 |
| ·硅片清洗 | 第23页 |
| ·杂质扩散（两步扩散） | 第23-25页 |
| ·光刻 | 第25页 |
| ·台面腐蚀 | 第25-26页 |
| ·钝化保护 | 第26-27页 |
| ·金属化 | 第27-30页 |
| 4 实验研究 | 第30-51页 |
| ·TVS 雪崩击穿电压 | 第30-36页 |
| ·扩散时间对击穿电压的影响 | 第30-32页 |
| ·扩散温度对击穿电压的影响 | 第32-34页 |
| ·电阻率对击穿电压的影响 | 第34-35页 |
| ·基于扩散的击穿电压估算公式 | 第35-36页 |
| ·TVS 钝化保护 | 第36-43页 |
| ·掺氯氧化钝化 | 第38-39页 |
| ·玻璃钝化 | 第39页 |
| ·氮化硅钝化 | 第39-42页 |
| ·钝化实验结果及比较 | 第42-43页 |
| ·TVS 峰值脉冲功率及箝位电压 | 第43-46页 |
| ·失效分析 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 5 总结 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第57页 |
