摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-8页 |
第一章 绪论 | 第8-25页 |
·引言 | 第8-9页 |
·ZNO 的基本性质 | 第9-15页 |
·ZNO 薄膜制备技术简介 | 第15-22页 |
·ZNO 薄膜的研究现状与产业前景 | 第22-25页 |
第二章 超声雾化汽相沉积原理和制备 | 第25-37页 |
·超声雾化热解(ULTRASONIC SPRAY PYROLYSIS)技术发展和现状 | 第25-26页 |
·超声雾化汽相沉积薄膜技术的原理 | 第26-32页 |
·超声雾化汽相沉积在ZNO 薄膜技术的原料要求与工艺 | 第32-34页 |
·表征手段 | 第34-36页 |
·本章小结 | 第36-37页 |
第三章 工艺参数对ZNO 薄膜性能的影响 | 第37-62页 |
·引言 | 第37页 |
·衬底温度对ZNO 薄膜结构和沉积速率的影响 | 第37-43页 |
·载气流量对ZNO 薄膜结构和沉积速率的影响 | 第43-45页 |
·衬底到端口的距离对ZNO 薄膜生长的影响 | 第45-50页 |
·前驱体溶液浓度对ZNO 薄膜的影响 | 第50-54页 |
·退火温度对ZNO 薄膜结构的影响 | 第54-61页 |
·本章小结 | 第61-62页 |
第四章 铝掺杂ZNO 薄膜制备的初步研究 | 第62-67页 |
·引言 | 第62页 |
·掺AL 的ZNO 薄膜的制备及晶体结构 | 第62-64页 |
·ZNO 薄膜的电学性质研究 | 第64-67页 |
第五章 结论 | 第67-69页 |
参考文献 | 第69-75页 |
致谢 | 第75-76页 |
攻读硕士期间的研究成果 | 第76-77页 |