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超声雾化汽相沉积法制备ZnO薄膜及其性能研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-8页
第一章 绪论第8-25页
   ·引言第8-9页
   ·ZNO 的基本性质第9-15页
   ·ZNO 薄膜制备技术简介第15-22页
   ·ZNO 薄膜的研究现状与产业前景第22-25页
第二章 超声雾化汽相沉积原理和制备第25-37页
   ·超声雾化热解(ULTRASONIC SPRAY PYROLYSIS)技术发展和现状第25-26页
   ·超声雾化汽相沉积薄膜技术的原理第26-32页
   ·超声雾化汽相沉积在ZNO 薄膜技术的原料要求与工艺第32-34页
   ·表征手段第34-36页
   ·本章小结第36-37页
第三章 工艺参数对ZNO 薄膜性能的影响第37-62页
   ·引言第37页
   ·衬底温度对ZNO 薄膜结构和沉积速率的影响第37-43页
   ·载气流量对ZNO 薄膜结构和沉积速率的影响第43-45页
   ·衬底到端口的距离对ZNO 薄膜生长的影响第45-50页
   ·前驱体溶液浓度对ZNO 薄膜的影响第50-54页
   ·退火温度对ZNO 薄膜结构的影响第54-61页
   ·本章小结第61-62页
第四章 铝掺杂ZNO 薄膜制备的初步研究第62-67页
   ·引言第62页
   ·掺AL 的ZNO 薄膜的制备及晶体结构第62-64页
   ·ZNO 薄膜的电学性质研究第64-67页
第五章 结论第67-69页
参考文献第69-75页
致谢第75-76页
攻读硕士期间的研究成果第76-77页

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