微型矢量水听器研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-28页 |
| ·概述 | 第16-17页 |
| ·国内矢量水听器发展现状 | 第17-18页 |
| ·国外矢量水听器技术动态 | 第18-23页 |
| ·MEMS技术在矢量水听器中的应用展望 | 第23-26页 |
| ·论文主要工作内容 | 第26-28页 |
| 第2章 压阻式矢量水听器工作原理 | 第28-46页 |
| ·同振型矢量水听器工作原理 | 第28-30页 |
| ·基本工作原理 | 第28-30页 |
| ·压电式矢量水听器工作原理 | 第30页 |
| ·拾振条件研究 | 第30-38页 |
| ·从声学理论角度建立矢量水听器的拾振条件 | 第31页 |
| ·从声场分析的角度建立矢量水听器的拾振模型 | 第31-35页 |
| ·应用振动学理论建立矢量水听器拾振模型及机理分析 | 第35-38页 |
| ·矢量水听器拾振条件分析 | 第38页 |
| ·压阻式矢量水听器工作原理 | 第38-44页 |
| ·压阻效应原理 | 第38-39页 |
| ·压阻式矢量水听器工作原理 | 第39-41页 |
| ·MEMS工艺原理 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第3章 压阻式矢量水听器设计技术 | 第46-78页 |
| ·敏感基元设计 | 第46-66页 |
| ·结构灵敏度设计 | 第47-53页 |
| ·应变计设计 | 第53-57页 |
| ·阻尼设计 | 第57-66页 |
| ·信号处理部分设计 | 第66-73页 |
| ·检测电路设计原理 | 第67-71页 |
| ·温度补偿 | 第71页 |
| ·仪表放大 | 第71-73页 |
| ·信号处理电路 | 第73页 |
| ·多片式组合矢量水听器设计技术 | 第73-76页 |
| ·本章小结 | 第76-78页 |
| 第4章 压阻式矢量水听器工艺与制作 | 第78-96页 |
| ·电阻应变计制作工艺 | 第78-85页 |
| ·应力应变分布曲线 | 第79-83页 |
| ·应变电阻的工艺设计 | 第83-85页 |
| ·版图设计 | 第85页 |
| ·敏感结构制作工艺 | 第85-87页 |
| ·芯片封装技术 | 第87-89页 |
| ·电路制作 | 第89-90页 |
| ·矢量水听器封装制作工艺 | 第90-94页 |
| ·灌封材料 | 第91-92页 |
| ·模具结构制作工艺 | 第92页 |
| ·工艺流程 | 第92-94页 |
| ·本章小结 | 第94-96页 |
| 第5章 压阻式矢量水听器测试技术 | 第96-110页 |
| ·概述 | 第96-97页 |
| ·测试方案 | 第97-100页 |
| ·芯片测试 | 第97-98页 |
| ·检测单元测试 | 第98-99页 |
| ·水下测试 | 第99-100页 |
| ·测试结果 | 第100-108页 |
| ·芯片测试 | 第100-101页 |
| ·检测单元测试 | 第101-105页 |
| ·水下测试 | 第105-108页 |
| ·本章小结 | 第108-110页 |
| 结论 | 第110-113页 |
| 参考文献 | 第113-117页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第117-120页 |
| 致谢 | 第120-121页 |
| 个人简历 | 第121页 |
