ZnSe红外窗口材料加工、镀膜及性能研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-12页 |
| §1.1 ZnSe是一种理想的窗口材料 | 第6-8页 |
| §1.2 化学机械抛光技术的研究现状 | 第8-10页 |
| §1.3 薄膜光学的研究现状 | 第10-11页 |
| §1.4 本课题背景及研究目的 | 第11页 |
| §1.5 本文研究的主要内容 | 第11-12页 |
| 第二章 ZnSe晶体的性能和生长技术 | 第12-19页 |
| §2.1 ZnSe晶体的力学和光学性能 | 第12-15页 |
| §2.2 ZnSe红外窗口材料的制备技术研究进展 | 第15-19页 |
| 第三章 ZnSe晶体的冷加工工艺 | 第19-54页 |
| §3.1 ZnSe透镜技术指标 | 第19-21页 |
| §3.2 晶体缺陷的检测 | 第21页 |
| §3.3 ZnSe晶体的定向和切割 | 第21-22页 |
| §3.4 ZnSe零件的定心磨边 | 第22-23页 |
| §3.5 ZnSe零件的粗磨 | 第23-25页 |
| §3.6 ZnSe零件的抛光 | 第25-34页 |
| §3.7 加工对ZnSe零件的宏观应力的影响 | 第34-50页 |
| §3.8 加工后零件的性能测试 | 第50-54页 |
| 第四章 ZnSe零件的镀膜工 | 第54-74页 |
| §4.1 双层增透膜的设计 | 第54-64页 |
| §4.2 光学薄膜材料和蒸发源材料的选择 | 第64-67页 |
| §4.3 薄膜的制备工艺 | 第67-72页 |
| §4.4 镀膜之后零件的性能测试 | 第72-74页 |
| 结论 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-78页 |
| 长春理工大学硕士学位论文原创性声明 | 第78页 |
| 长春理工大学学位论文版权使用授权书 | 第78页 |
