| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| §1.1 引言 | 第7-8页 |
| §1.2 本课题来源与研究目的及意义 | 第8-9页 |
| ·课题来源 | 第8-9页 |
| ·研究目的、意义及应用前景 | 第9页 |
| §1.3 三维曲面激光扫描光三角检测技术的研究发展 | 第9-11页 |
| ·国外研究进展与现状 | 第9-10页 |
| ·国内研究进展与现状 | 第10-11页 |
| §1.4 本文主要研究的内容和研究方法 | 第11-13页 |
| ·主要研究的内容 | 第11页 |
| ·研究方法 | 第11-13页 |
| 第二章 总体设计方案 | 第13-17页 |
| §2.1 总体设计思想 | 第13页 |
| §2.2 系统的组成与总体结构的布局 | 第13-17页 |
| ·系统的组成 | 第13-15页 |
| ·主体精密机械系统 | 第13-14页 |
| ·模块式激光检测系统 | 第14页 |
| ·光栅位移测量系统 | 第14页 |
| ·伺服控制系统 | 第14-15页 |
| ·计算机实时数据处理与控制系统 | 第15页 |
| ·总体结构布局 | 第15-17页 |
| 第三章 光电检测系统与原理 | 第17-30页 |
| §3.1 激光三角法位移检测技术 | 第17-27页 |
| ·工作原理的理论分析 | 第17-21页 |
| ·测量系统设计 | 第21-22页 |
| ·光源及敏感器PSD的选择 | 第22-27页 |
| §3.2 测试结果与误差分析 | 第27-29页 |
| §3.3 测量移动平台 | 第29-30页 |
| 第四章 闭环伺服控制系统 | 第30-45页 |
| §4.1 闭环伺服控制系统组成和总体结构布局 | 第30-31页 |
| §4.2 微位移系统 | 第31-33页 |
| ·微位移机构 | 第31页 |
| ·微位移机构的特点 | 第31-33页 |
| ·本文所采用的导向装置 | 第33页 |
| ·本文所采用的微量进给装置 | 第33页 |
| §4.3 步进电动机的控制系统 | 第33-39页 |
| ·步进电机的分类 | 第34页 |
| ·反应式步进电机的结构和工作原理 | 第34-36页 |
| ·步进电机的动态特性 | 第36-39页 |
| §4.4 位移检测系统 | 第39-44页 |
| ·光栅位移传感器的组成 | 第39-40页 |
| ·光栅位移传感器原理 | 第40-41页 |
| ·莫尔(干涉)条纹细分技术 | 第41-44页 |
| §4.5 闭环控制系统的原理 | 第44-45页 |
| 第五章 单片机控制系统设计 | 第45-52页 |
| §5.1 单片机的控制系统和相应的处理电路 | 第45-47页 |
| ·步进电机的控制电路及其单片机的控制 | 第47-49页 |
| ·采用PSD的测距系统电路 | 第49-52页 |
| 第六章 误差分析 | 第52-60页 |
| ·导轨误差分析 | 第52-56页 |
| ·空间坐标变换的数学模型 | 第53-54页 |
| ·导轨误差的数学模型建立及分析 | 第54-56页 |
| ·测量线、导向线、传动线之间的相对关系误差分析 | 第56-58页 |
| ·其它误差分析 | 第58-60页 |
| 第七章 实验 | 第60-65页 |
| ·实验条件 | 第60页 |
| ·实验方法与测量结果 | 第60-65页 |
| 第八章 结论与展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 附录1： | 第70-72页 |
| 附录2： | 第72-74页 |